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1)  field by field alignment
芯片的分步重复对准
2)  die by die alignment
步进式芯片对准
3)  site by site alignment
步进重复对准
4)  stepper aligner
步进重复对准器
5)  step-and-repeat systems(direct-on-wafer)
步骤重复系统(直上芯片)
6)  Step-and-repeat
分步重复
补充资料:分步重复照相机
分子式:
CAS号:

性质:又称图像重复机。由高分辨率缩微照相镜头(常用十倍或五倍)和程控精密载物台组成的系统。用以制作母版。来自镜头的图像投影倒置于载物台上的感光板上,移动载物台在需要的诸位置上对感光板曝光。

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参考词条