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1)  aperture mask
孔掩模
2)  mask opening
掩模窗孔
3)  contact mask
接触孔掩模
4)  metal aperture mask
金属孔掩模
5)  mask [英][mɑ:sk]  [美][mæsk]
掩模
1.
Multilayers on Extreme Ultraviolet Lithography Masks and Illumination Error;
极紫外投影光刻掩模的多层膜与照明误差
2.
Fabrication of continuous relief mask for diffractive plane focus lens;
连续型平面衍射聚光透镜掩模的制作
3.
A Novel GMTI Method Based on Masking Technique;
一种利用掩模法抑制杂波的GMTI方法
6)  aperture [英]['æpətʃə(r)]  [美]['æpɚtʃɚ]
掩码孔
补充资料:接触孔掩模
分子式:
CAS号:

性质: 在半导体制造中的一步接触孔制作工序。在该工序中整个管芯表面放置一玻璃绝缘层,在稍后于晶片表面淀积一金属化层畴的互连金属导体必须同有源区相接触的位置,将玻璃绝缘层腐蚀成一些小孔。接触孔掩模即为决定这些小孔的制作过程。

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