1) overetched
['əuvə,etʃid]
过蚀刻的
2) overetched
['əuvə,etʃid]
蚀刻过度的
3) Over etch
过刻蚀
1.
The main problems are the low Etch Rate Selectivity causing Over etch on the top Oxide of Gate and the low Etch Rate Uniformit.
18微米技术侧壁(Spacer)工艺在栅极密集区域,栅极底部有斜坡的缺陷,指出了现有设备和工艺所遇到的一些问题,然后针对所面临的主要问题,即因为刻蚀速率选择比不够高而造成对栅极上方氧化膜的过刻蚀,同时,刻蚀速率均匀性偏低,造成中心区域Spacer形状过于倾斜,线宽过小的问题。
4) over-etching
过份蚀刻
5) sputter etch process
溅镀蚀刻过程
6) etched
[英][etʃ] [美][ɛtʃ]
被侵蚀的，被蚀刻的
补充资料：光蚀刻
光蚀刻
photoetching
简称光刻。利用照相手段制作抗蚀膜像，用来保护表面，在金属、塑料等上面，借助腐蚀剂进行腐蚀的方法。应用于制作印片或电器的线路板等。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条