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1)  formation light
[电]形成光
2)  electroformed photomask
电镀形成的光掩膜
3)  electroformed photomask
电镀形成的光掩模
4)  Laser forming
激光成形
1.
ANN based process optimization of metal sheet laser forming;
基于人工神经网络的板料激光成形工艺优化
2.
This paper suggests the geometrical parameter method for laser forming of sheet metal,by means of which the formed surface can be quickly created.
根据计算速度快捷的曲面生成算法-几何参数法,提出了基于几何参数法的模拟板材激光成形全工艺的新方法,应用VB软件实现了此模型的板材激光成形全工艺模拟。
5)  stereo photo lithography
光成形法
6)  spectrum formation
光谱形成
补充资料:Ashing,stripping电浆光

1. 电浆预处理,系利用电浆方式(plasma),将芯片表面之光阻加以去除。2. 电浆光阻去除的原理,系利用氧气在电浆中所产生只自由基(radical)与光阻(高分子的有机物)发生作用,产生挥发性的气体,再由帮浦抽走,达到光阻去除的目的。3. 电浆光组的产生速率通常较酸液光阻去除为慢,但是若产品经过离子植入或电浆蚀刻后,表面之光阻或发生碳化或石墨化等化学作用,整个表面之光阻均已变质,若以硫酸吃光阻,无法将表面已变质之光阻加以去除,故均必须先以电浆光阻去除之方式来做。

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