补充资料：五乙氧基钽

分子式：
CAS号：

性质：熔点21℃，沸点146℃(20Pa)。密度1.566。纯度≥99.99％。微黄色可燃的液体，是对水和空气敏感的化合物。制备方法有：(1)五氯化钽与无水乙醇和高纯氨反应；(2)无水乙醇与五甲氧基钽进行酯交换反应；(3)电化学法。提纯采用真空精馏法。主要用于CVD和Sol-Gel法制备高纯Ta₂O₅或含Ta₂O₅组分的多组分氧化物薄膜及粉体的功能材料的前体源。

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