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1)  high pure silicoethane
高纯乙硅烷
2)  high-purity triethylsilane
高纯三乙基硅烷
3)  high-purity silane
高纯硅烷
4)  high purity ethane
高纯乙烷
5)  high pure diborane
高纯乙硼烷
6)  high purity hexafluroethane
高纯六氟乙烷
补充资料:高纯乙硅烷
分子式:Si2H6 
CAS号:

性质:沸点-14.3℃。熔点-132.5℃。是一种无腐蚀性的微毒气体,对水和酸稳定,遇碱分解成硅酸盐和氢,在碱金属作用下分解成硅烷和氢。在空气中能自燃而生成二氧化硅和水。制备时采用硅烷原料气经质量流量计进入放电管,在适当温度、频率和电压下生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气,混合气在不同的冷阱进行吸收,杂质被排出,可得高纯乙硅烷。可用于太阳能电池生产,分子束外延和离子注入等技术。在太阻能电池生产上,用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的淀积速度快许多倍,且温度可降低200~300℃。在离子注入中用乙硅烷作离子源后易起辉、束流强、效果明显好于用其他气体作离子源。  

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