补充资料：高纯乙硅烷

分子式：Si₂H₆ 
CAS号：

性质：沸点-14.3℃。熔点-132.5℃。是一种无腐蚀性的微毒气体，对水和酸稳定，遇碱分解成硅酸盐和氢，在碱金属作用下分解成硅烷和氢。在空气中能自燃而生成二氧化硅和水。制备时采用硅烷原料气经质量流量计进入放电管，在适当温度、频率和电压下生成含一定量乙硅烷、甲烷和氢的混合气，混合气在不同的冷阱进行吸收，杂质被排出，可得高纯乙硅烷。可用于太阳能电池生产，分子束外延和离子注入等技术。在太阻能电池生产上，用乙硅烷比用硅烷在非晶硅片上的淀积速度快许多倍，且温度可降低200～300℃。在离子注入中用乙硅烷作离子源后易起辉、束流强、效果明显好于用其他气体作离子源。  

说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。