补充资料：高压纯化器

分子式：
CAS号：

性质：在高压下脱除气体中杂质的装置。在半导体工业中，高压纯化器主要用于提供配制混合气的底气，即提供高纯或超高纯氮、氢、氩、氦。多采用低温吸附法，即以活性炭或硅胶为吸附剂，在液氮温度下根据吸附剂对杂质的选择性吸附作用脱除气体中杂质。也可以采用各种催化剂。高压纯化器的工作压力愈高，吸附剂的吸附容量会加大，但设备投资也增加。通常压力在10～15MPa。小型高压纯化器用于除去气流中的油、水和粒子，可直接安装在大多数气瓶上，能承受21MPa的压力，但用于氧气时，压力限制在3.5MPa以内。

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