补充资料：聚乙烯氧乙基肉桂酸酯

分子式：
CAS号：

性质：又称OSR，该胶种曝光时几乎不受氧的影响，因此不需氮气保护，分辨率可达1μm左右，灵敏度比聚乙烯醇肉桂酸酯光刻胶高1倍，黏附性、耐热性好，抗蚀能力强，显影后可在190℃，坚膜30min不变质，感光范围在250～475μm，特别对g线(436nm)敏感。可用于复印精细线条超高频率晶体管、微波三极管等半导体元件及中、大规模集成电路制造，还可用于等离子腐蚀、等离子去胶等半导体工业的新工艺、新技术中。该胶由2-氯乙基乙烯基醚与肉桂酸钠在季铵盐存在下反应制得单体乙烯氧乙基肉桂酸酯，于低温并在三氟化硼-乙醚催化剂作用下进行阳离子聚合制得。

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