补充资料：聚乙烯醇肉桂酸酯

分子式：
CAS号：

性质：又称1号胶。淡黄色液体。是一种负型光致抗蚀剂，在紫外光照射下聚合，不见光的部分不聚合。曝光显影后图形分辨率好，质量稳定，对二氧化硅、硅、铝、氧化铬等材料有良好的附着力，能耐氢氟酸、磷酸腐蚀。广泛用于制备集成电路、电子元件的光刻工艺，亦适用于印刷线路板、金属表牌、光学仪器、精密量具等微细图形的加工。制备方法如下。(1)吡啶法(或称柯达法)。以吡啶溶解聚乙烯醇后在50℃温度下滴加肉桂酰氯进行酯化反应，反应结束后再加丙酮稀释，在水中沉析、洗净、干燥即得成品。(2)水乳液法(或称东工法)。该法采用冷法酯化工艺，以丁酮为溶剂在0℃下进行反应，反应物在汽油中沉析，然后经脱水等后处理可制得成品。

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