1) MOEMS accelerotneter
微光机电加速度计
2) micro-mechanical capacitive accelerometer
电容式微机械加速度计
1.
Using the switching capacity circuit to realize the C-V convert and using the feedback of the electrostatic force to realize force-balance closed-loop control, the micro-mechanical capacitive accelerometer is designed.
电容式微机械加速度计是一种将加速度转换成差分电容、通过检测差分电容的变化来检测加速度大小的一类高精度的惯性传感器。
3) variable-capacitance micromechanical accelerometer
微机械电容式加速度计
1.
Many basic parameters of variable-capacitance micromechanical accelerometer such as frequency,nonlinear ,resolution, are decided by its structure firstly.
微机械电容式加速度计的基本参数如固有频率、非线性度、分辨率等首先取决于其本身的结构,因此加速度计结构的设计选取至关重要。
2.
According to the operation principle of variable-capacitance micromechanical accelerometer, this paper establishes its mechanics model by analysis, and gives relevant movement equations, then gives dynamic controllable m.
利用MEMS技术生产的微机械电容式加速度计具有制作工艺简单、温度系数小、稳定性好、阻尼系数容易控制等优点,因而得到了广泛的应用。
4) Ward & Mellor Software Development Method
微电子机械加速度计
5) MEMS accelerometer
微机械加速度计
1.
Automatic measuring system of MEMS accelerometer;
微机械加速度计自动测试系统
2.
Digital integrated interface of MEMS accelerometer;
微机械加速度计的集成化数字接口
3.
The output of MEMS accelerometer is influenced by the environment temperature.
微机械加速度计的输出受到环境温度的影响。
6) micromechanical resonant accelerometer
微机械加速度计
1.
This paper studies the mechanics of micromechanical resonant accelerometer,and creates the mathematical model of the first-level sensing structure,lever structure and the second-level sensing structure.
谐振式微机械加速度计直接输出频率信号,具有稳定性好、精度高的特点。
2.
This paper analyses the work mechanism of Si-based micromechanical resonant accelerometer,presents a new structural style and makes the structure optimization design and simulation calculation.
分析了硅基谐振式微机械加速度计的工作机理,提出了一种新颖的结构形式,进行了结构的优化设计和仿真计算。
补充资料：加速度计
测量加速度的仪表。加速度测量是工程技术提出的重要课题。当物体具有很大的加速度时，物体及其所载的仪器设备和其他无相对加速度的物体均受到能产生同样大的加速度的力，即受到动载荷。欲知动载荷就要测出加速度。其次，要知道各瞬时飞机、火箭和舰艇所在的空间位置，可通过惯性导航（见陀螺平台惯性导航系统）连续地测出其加速度，然后经过积分运算得到速度分量,再次积分得到一个方向的位置坐标信号,而三个坐标方向的仪器测量结果就综合出运动曲线并给出每瞬时航行器所在的空间位置。再如某些控制系统中，常需要加速度信号作为产生控制作用所需的信息的一部分，这里也出现连续地测量加速度的问题。能连续地给出加速度信号的装置称为加速度传感器。
常见加速度计的构件如下：外壳(与被测物体固连)、参考质量、敏感元件、信号输出器等。加速度计要求有一定量程和精确度、敏感性等，这些要求在某种程度上往往是矛盾的。以不同原理为依据的加速度计，其量程不同（从几个g到几十万个g），它们对交变加速度频率的敏感性也各不相同。常见的加速度计所依据的原理有：①参考质量由弹簧与壳体相连（见图），它和壳体的相对位移反映出加速度分量的大小，这个信号通过电位器以电压量输出；②参考质量由弹性细杆与壳体固连，加速度引起的动载荷使杆变形，用应变电阻丝感应变形的大小，其输出量是正比于加速度分量大小的电信号；③参考质量通过压电元件与壳体固连，质量的动载荷对压电元件产生压力，压电元件输出与压力即加速度分量成比例的电信号；④参考质量由弹簧与壳体连接,放在线圈内部,反映加速度分量大小的位移改变线圈的电感，从而输出与加速度成正比的电信号。此外，尚有伺服类型的加速度计，其中引入一个反馈回路，以提高测量的精度。为了测出在平面或空间的加速度矢量，需要两个或三个加速度计，各测量一个加速度分量。
角加速度计的原理类似加速度计，它的外盒装在转动物体上，由于角加速度，在参考质量上产生切向动载荷，可输出与切向加速度或角加速度大小成比例的信号。随被测运动物体和测量要求的不同，加速度计有各种原理和实现方式。如在飞行器上，有按陀螺原理设计的陀螺加速度仪等。
参考书目
D.N.Keast, Measurement in Mechanical Dynamics,McGraw-Hill,New York,1967.
常见加速度计的构件如下：外壳(与被测物体固连)、参考质量、敏感元件、信号输出器等。加速度计要求有一定量程和精确度、敏感性等，这些要求在某种程度上往往是矛盾的。以不同原理为依据的加速度计，其量程不同（从几个g到几十万个g），它们对交变加速度频率的敏感性也各不相同。常见的加速度计所依据的原理有：①参考质量由弹簧与壳体相连（见图），它和壳体的相对位移反映出加速度分量的大小，这个信号通过电位器以电压量输出；②参考质量由弹性细杆与壳体固连，加速度引起的动载荷使杆变形，用应变电阻丝感应变形的大小，其输出量是正比于加速度分量大小的电信号；③参考质量通过压电元件与壳体固连，质量的动载荷对压电元件产生压力，压电元件输出与压力即加速度分量成比例的电信号；④参考质量由弹簧与壳体连接,放在线圈内部,反映加速度分量大小的位移改变线圈的电感，从而输出与加速度成正比的电信号。此外，尚有伺服类型的加速度计，其中引入一个反馈回路，以提高测量的精度。为了测出在平面或空间的加速度矢量，需要两个或三个加速度计，各测量一个加速度分量。
角加速度计的原理类似加速度计，它的外盒装在转动物体上，由于角加速度，在参考质量上产生切向动载荷，可输出与切向加速度或角加速度大小成比例的信号。随被测运动物体和测量要求的不同，加速度计有各种原理和实现方式。如在飞行器上，有按陀螺原理设计的陀螺加速度仪等。
参考书目
D.N.Keast, Measurement in Mechanical Dynamics,McGraw-Hill,New York,1967.
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条