1) Titanium-containing diamond-like carbon film (Ti-DLC)
含Ti类金刚石膜
2) H-Diamond like carbon coating
含氢类金刚石膜
3) Ti-doped DLC
Ti掺杂类金刚石薄膜
4) FN-DLC thin films
含氮氟化类金刚石薄膜
1.
Study on FN-DLC thin films:(Ⅱ)effect of radio frequency power on the optical band gap of the thin films;
以CF4,CH4和N2为源气体,采用射频等离子体增强化学气相沉积法,在不同射频功率下制备了含氮氟化类金刚石薄膜样品。
5) FN-DLC
含氮氟化类金刚石膜
1.
Nitrogen doping of fluorinated diamond-like carbon(FN-DLC)thin films were prepared by radio frequency plasma enhanced chemical deposition(RF-PECVD)under different radio frequency power(RF-power)with CF_4,CH_4 and nitrogen as source gases.
以CF4,CH4和N2为源气体,利用射频等离子体增强化学气相沉积法,在不同功率下制备了含氮氟化类金刚石膜。
6) Cr-doped DLC film
含铬类金刚石薄膜
补充资料：类金刚石膜
分子式：
CAS号：
性质：又称山膜。碳的一种亚稳态，组成主要是碳，也含有氢，其量随工艺条件而异，最多时可达20％。类金刚石具有很高的硬度、高导热性、高绝缘性、良好的化学稳定性、从红外到紫外的高光学透过率等。这与金刚石相似，但其性能数值均低于金刚石膜。类金刚石膜已开始用作耐磨涂层。
CAS号：
性质：又称山膜。碳的一种亚稳态，组成主要是碳，也含有氢，其量随工艺条件而异，最多时可达20％。类金刚石具有很高的硬度、高导热性、高绝缘性、良好的化学稳定性、从红外到紫外的高光学透过率等。这与金刚石相似，但其性能数值均低于金刚石膜。类金刚石膜已开始用作耐磨涂层。
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参考词条