1) silicon incorporated diamond-like carbon
掺硅类金刚石薄膜
1.
Hydrogen-free diamond-like films and silicon incorporated diamond-like carbon films were deposited by direct current magnetron sputtering with Ar gas, graphite and silicon chips on the single-crystal silicon and optical glass substrates.
本文采用直流磁控溅射方法,以普通光学玻璃和单晶硅为基底,Ar为工作气体和石墨以及硅片为靶材,制备无氢类金刚石薄膜和掺硅类金刚石薄膜。
2) Ti-doped DLC
Ti掺杂类金刚石薄膜
3) W-DLC thin film
掺钨类金刚石薄膜
4) B-doping diamond-like carbon films
硼掺杂类金刚石薄膜
补充资料：金刚
【金刚】
（术语）Vajra，梵语缚曰罗（曰或作日通用），一作跋折罗。译言金刚。金中之精者。世所言之金刚石是也。抱扑子曰：“扶南出金刚，生水底石上，如钟乳状，体似紫石英，可以刻玉。虽铁锥击之，亦不能伤。唯羚羊角扣之，则涣然冰泮。”西使记曰：“金刚钻出印毒。”按，印毒即印度也。梵网经古迹上曰：“金中精牢名曰金刚。”三藏法数五曰：“金刚者，金中最刚，故云金刚。”大藏法数四十一曰：“梵语跋折罗，华言金刚。此宝出于金中，色如紫英。百炼不销，至坚至利，可以切玉，世所希有，故名为宝。”南本涅槃经二十二曰：“如金刚宝置之日中，色则不定，金刚三昧亦复如是。”据此则知金刚为透明体。智度论五十九，说摩尼宝珠为帝释所执金刚之碎片曰：“有人言：是帝释所执金刚用与阿修罗斗时，碎落阎浮提。”可以证其为宝石矣。梵语杂名曰：“金刚，梵语缚曰罗。”【又】（物名）以金刚所造之杵，名为金刚。大日经一曰：“一切持金刚者，皆悉集会。”即金刚杵之略名也。大日疏一曰：“梵云伐折罗陀罗，伐折罗即是金刚杵，陀罗是执持义，故曰译云执金刚，今谓持金刚。”【又】（天名）。持金刚杵之力士，谓之金刚。执金刚之略名。行宗记二上曰：“金刚者，即侍从力士，手持金刚杵，因以为名。”
（术语）Vajra，梵语缚曰罗（曰或作日通用），一作跋折罗。译言金刚。金中之精者。世所言之金刚石是也。抱扑子曰：“扶南出金刚，生水底石上，如钟乳状，体似紫石英，可以刻玉。虽铁锥击之，亦不能伤。唯羚羊角扣之，则涣然冰泮。”西使记曰：“金刚钻出印毒。”按，印毒即印度也。梵网经古迹上曰：“金中精牢名曰金刚。”三藏法数五曰：“金刚者，金中最刚，故云金刚。”大藏法数四十一曰：“梵语跋折罗，华言金刚。此宝出于金中，色如紫英。百炼不销，至坚至利，可以切玉，世所希有，故名为宝。”南本涅槃经二十二曰：“如金刚宝置之日中，色则不定，金刚三昧亦复如是。”据此则知金刚为透明体。智度论五十九，说摩尼宝珠为帝释所执金刚之碎片曰：“有人言：是帝释所执金刚用与阿修罗斗时，碎落阎浮提。”可以证其为宝石矣。梵语杂名曰：“金刚，梵语缚曰罗。”【又】（物名）以金刚所造之杵，名为金刚。大日经一曰：“一切持金刚者，皆悉集会。”即金刚杵之略名也。大日疏一曰：“梵云伐折罗陀罗，伐折罗即是金刚杵，陀罗是执持义，故曰译云执金刚，今谓持金刚。”【又】（天名）。持金刚杵之力士，谓之金刚。执金刚之略名。行宗记二上曰：“金刚者，即侍从力士，手持金刚杵，因以为名。”
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