2) Surface Layer of Ulttraprecision Machining
超精密加工表层
3) super-precision mirror surface grinding
超精密镜面加工
1.
The technology of ELID grinding was successfully applied to super-precision mirror surface grinding of such hard and brittle materials as hard metals, engineering caramics and optical glass.
介绍了ＥＬＩＤ磨削技术的基本原理，分析了ＥＬＩＤ技术磨削硬脆材料的加工机理，并应用该技术对硬质合金、工程陶瓷和光学玻璃等典型硬脆材料实现了超精密镜面加工。
4) ultraprecision maching surface
超精细加工表面
5) super-precision surface finishing
超精表面加工
6) precision and ultra-precision machining
精密超精密加工
补充资料：超精密加工
| 超精密加工 ultraprecision machining 20世纪60年代为了适应核能、大规模集成电路、激光和航天等尖端技术的需要而发展起来的精度极高的加工技术。超精密加工的精度比传统的精密加工提高了一个以上的数量级。到20世纪80年代，加工尺寸精度可达10纳米(1×10-8米)，表面粗糙度达1纳米。超精密加工对工件材质、加工设备、工具、测量和环境等条件都有特殊的要求，需要综合应用精密机械、精密测量、精密伺服系统、计算机控制以及其他先进技术。超精密加工包括：①超精密切削加工。如超精密车削、镜面磨削、研磨等，常用于加工有色金属材料的球面、非球面和平面的反射镜等高精度、表面高度光洁的零件。②超精密特种加工。如机械化学抛光、离子溅射和离子注入、电子束曝射、激光束加工、金属蒸镀、分子束外延等，其原理是应用化学能、电化学能、热能或电能等，使这些能量超越原子间的结合能，从而去除工件表面的部分原子间的附着、结合或晶格变形等，以达到超精密加工的目的。 |
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参考词条