1) Cd-doped BZN thin films
Cd掺杂BZN薄膜
2) Cd-doped BZCN thin film
Cd掺杂BZCN薄膜
1.
Preparation of Cd-doped BZCN thin film and its dielectric properties;
Cd掺杂BZCN薄膜的制备及其介电性能
3) BZN films
BZN薄膜
1.
Microstructures, dielectric properties, and tunable properties of BZN films were studied systematically.
本文采用磁控溅射法制备BZN薄膜,系统地研究了溅射法制备BZN薄膜的工艺参数,以及不同制备条件对薄膜组分、结构及性能的影响,并对BZN薄膜的介电性能、可调性作了较全面的描述。
4) film doping
薄膜掺杂
5) doped ZnO thin film
掺杂ZnO薄膜
1.
Sb_2O_3-doped ZnO thin film was prepared by RF magnetron sputtering technique.
采用RF磁控溅射技术制备了Sb2O3掺杂ZnO薄膜,通过X射线光电子能谱仪(XPS)、X射线衍射仪(XRD)和紫外-可见光(UV-Vis)分光光度计研究了Sb2O3对ZnO薄膜结构和光吸收性能的影响。
6) doped VO_2 thin films
掺杂VO2薄膜
补充资料：半导体材料掺杂
半导体材料掺杂
doping for semiconductor material
bondootl Col}{00 ehonzo半导体材料掺杂(doping for semiconduCtormaterial)对材料掺入特定的杂质以取得预期的物理性能与参数的半导体材料制备方法，在大多数情况下，是使用掺杂后的半导体材料进行器件制备。掺杂的具体目的有:(l)获得预期的导电类型，如p型掺杂或n型(见半导体材料导电机理)掺杂;(2)获得预期的电阻率、载流子浓度(见半导体材料导电机理)，如重掺单晶(见简并半导体)、半绝缘砷化稼的制备;(3)获得低的少子寿命(见半导体材料导电机理)，如锗中掺金;(4)获得晶体的良好力学性能，如硅中掺氮;(5)提高发光效率，改变发光波长，如磷化稼中掺氮、掺氧(见发光用半导体材料);(6)形成低维材料及超晶格(见半导体超晶格);(7)调整晶格匹配，如硅中掺锡。 对掺杂的要求主要是:精度、均匀性、分布空间。掺杂的方法有熔体掺杂、气相掺杂、中子擅变掺杂、离子注入掺杂、表面涂覆掺杂(见区熔硅单晶)。掺杂是在半导体材料制备过程的某一个或几个工序中进行，大多数是在单晶拉制过程中进行掺杂，薄膜材料则在薄膜制备过程中进行掺杂，而中子擅变掺杂、离子注入掺杂则离开晶体制备而成为独立的工序。 (万群)
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参考词条