1) composite structure electro-thermal actuator
复合结构电热微驱动器
2) hybrid electrostatic driving structure
复合静电驱动结构
1.
A novel into-plane rotating micromirror actuated by a hybrid electrostatic driving structure is presented.
报道了以体硅表面硅混合微加工工艺制作在SOI衬底上的一种新型复合静电驱动结构致动内旋转微镜,其中复合静电驱动结构由一个平板驱动器和一个垂直梳齿驱动器构成。
3) electro-thermal actuator
电热微驱动器
1.
Development of novel composite structural electro-thermal actuator;
新型复合结构电热微驱动器的研制
2.
A cantilever of electro-thermal actuator moved out-of-plane was fabricated by electroplating copper as sacrificial layer and a new technique of preparation of sacrificial layer was established.
用电化学沉积Cu作为牺牲层制备面外运动电热微驱动器的悬空结构,并建立了一种简单、可靠的牺牲层工艺技术。
3.
A novel electro-thermal actuator is presented by using non-silicon micro fabrication technology.
介绍了一种由非硅微加工技术制作的电热微驱动器。
4) compound temperature relay
复合热动继电器
5) Cascade V-shape beam electrothermal actuators
复合V型梁电热硅微致动器
6) Bimorph electrothermal microactuator
Bimorph结构电热微执行器
补充资料：ZIP驱动器的分类
ZIP驱动器分为内置式和外置式两种，内置的接口类型有IDE和SCSI接口，外置的分为USB和1394，再早一点还有并口的产品。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条