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1)  Micro electrostatic actuator
微静电驱动器
2)  electrostatic comb-finger actuator
静电梳齿微驱动器
1.
Silicon micromachined gyroscope is mainly driven by electrostatic comb-finger actuator which has advantages of simple structure,low power supply,high sensitivity and not susceptible to temperature.
静电梳齿微驱动器因其结构简单、功耗低、灵敏度高、受温度影响小,成为硅微陀螺仪的主要驱动方式。
3)  electrostatic driver
静电驱动器
4)  Electrostatic comb actuator
静电梳状驱动器
5)  electrostatic repulsive actuators
静电排斥驱动器
6)  electrostatic actuation
静电驱动
1.
The method of electrostatic actuation and induced electromotive force(EMF) detection were put forward according to the structural feature of the nano-beam.
利用氧化、光刻、刻蚀、溅射等传统MEMS加工工艺,在绝缘衬底上的硅(SOI)基片上制作出一种厚度只有50 nm的双端固支结构的硅纳米谐振梁;在实验室条件下,针对实验中谐振梁的结构特点,提出了静电激励与感生电动势检测(EMF)的测量方法,并利用专业的Conventorware MEMS仿真软件及ANSYS有限元分析软件,定量地给出合适的静电驱动电压,同时初步估算了梁谐振时将会产生的感生电动势的大小,并对此分析结果提出了相应的测试电路,为下一步对这种超薄纳米梁的实际测试工作提供了可行性的理论参考。
2.
In the design of Micro-Electromechanical Systems CMEMS) devices, an important method is called the electrostatic actuation, which is based on an electrostatic-controlled tunablecapacitor.
在微机电系统(MEMS)装置设计方面,一种很重要的方法被称为静电驱动。
补充资料:ZIP驱动器的分类
ZIP驱动器分为内置式和外置式两种,内置的接口类型有IDE和SCSI接口,外置的分为USB和1394,再早一点还有并口的产品。
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参考词条