1) Metal vapor arc ion source
金属蒸发真空离子源
2) metal vapor vacuum arc source
金属蒸汽真空弧离子源
3) MEWA ion source
金属真空弧离子源
1.
Numerical simulation of high current ion beams extracted from a MEWA ion source;
金属真空弧离子源引出强流离子束的数值模拟
4) MEVVA implantation
金属蒸发真空弧注入
5) metal vapor vacuum arc (Mevva)
金属蒸气真空弧
1.
The W ion implantation was carried out using a metal vapor vacuum arc (Mevva) ion source, with a mean energy of 105 keV under a current density of 22 μA/cm2 and at doses of 3×1017 cm2和5×1017 cm2.
采用金属蒸气真空弧离子源,在奥氏体不锈钢上注入金属W离子,研究了W离子注入对奥氏体不锈钢微动磨损性能的影响。
6) MEVVA
金属蒸汽真空弧
1.
To improve greatly the implantation efficiency and reduce the cost are the key to the industrial applications of MEVVA(Metal Vapor Vacuum Arc) source ion implantation.
提高金属蒸汽真空弧(Metal Vapor Vacuum Arc,MEVVA)离子源注入机的注入效率,大幅度降低注入成本是MEVVA源离子注入技术实用化的关键。
补充资料：真空蒸发
在真空下进行的蒸发操作。真空蒸发可以降低溶液沸点，故具有以下优点：①可处理高温下易分解的热敏性物料，如牛奶、果汁、蜂蜜和抗生素等。②增大传热推动力，提高蒸发器单位传热面积的蒸发量。③可利用低温热源，降低能耗。多效蒸发装置中的最后几效都是在真空下操作的。然而，溶液降温会使粘度增大，导致传热系数减小。
在真空蒸发流程中（见图），末效的二次蒸汽通常在混合式冷凝器中冷凝。为了使处于真空下的冷却水能自动排出，冷凝器的安装高度一般高于10m。蒸发器的真空度由二次蒸汽的冷凝温度决定。由于溶液中溶解的气体受热释出，蒸发器和管路亦有空气漏入，为维持真空，须用真空泵（见流体输送机械）不断地排除这些不凝性气体。
在真空蒸发流程中（见图），末效的二次蒸汽通常在混合式冷凝器中冷凝。为了使处于真空下的冷却水能自动排出，冷凝器的安装高度一般高于10m。蒸发器的真空度由二次蒸汽的冷凝温度决定。由于溶液中溶解的气体受热释出，蒸发器和管路亦有空气漏入，为维持真空，须用真空泵（见流体输送机械）不断地排除这些不凝性气体。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条