1) silicon ultra-low-pressure sensor
硅微超微压传感器
1.
One of the main research topics of silicon pressure sensor is silicon ultra-low-pressure sensor.
分析了已经商业化的压阻式、电容式、谐振式三类典型的硅微压力传感器各自优缺点,回顾了它们的微压化进展,并在此基础上确定了硅微超微压传感器(0~100 Pa)的电容式结构形式。
2) micro-machined low-pressure sensor
硅微微压传感器
3) Pressure Sensor
超微压力传感器
4) Capacitive Micro-machined Low-pressure Sensor
电容式硅微微压传感器
6) Si micro piezoresistance pressure sensor
硅微压阻压力传感器
补充资料：无弹性架压磁测力传感器压头
无弹性架压磁测力传感器压头
无弹性架压碰测力传感器压头
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参考词条