1) multi-finger microaccelerometer
梳齿式加速度计
2) comb micro-accelerometer
梳齿加速度计
3) capacitive accelerometer
电容式加速度计
1.
Detection circuit design of MEMS capacitive accelerometer;
微机械电容式加速度计检测电路设计
2.
Study on automatic zeroing of capacitive accelerometer;
电容式加速度计自动校零技术的研究
3.
Features of three common structures of capacitive accelerometer were compared before pointing out the merits of finger-shaped micro-accelerometer of bias stationary structure.
MEMS电容式加速度计具有灵敏度高、噪音低、漂移小、功耗低、结构简单等优点,有着广泛的应用前景。
4) precision force balance accelerometer
硅挠式加速度计
1.
The design of tiny inductance detect circuit system of a precision force balance accelerometer for inertia navigation application was developed.
这种硅挠式加速度计伺服检测电路主要是对互感系数的变化进行采集、放大、转换等处理,最终能完成对力矩线圈进行反馈控制的任务。
5) piezoelectric accelerometer
压电式加速度计
1.
Application of piezoelectric accelerometers in water pipeline leak locating;
压电式加速度计在供水管道泄漏定位中的应用
2.
Introduced the characteristics of the piezoelectric accelerometer such as small volume,low-weight,wide measure range.
压电式加速度计具有体积小、质量轻、测量范围宽等特点,在振动测量系统中得到广泛应用。
3.
The theory and application of vibration measurement by using piezoelectric accelerometer,charge amplifier and dynamic signal analyzerare introduced.
阐述了利用压电式加速度计、电荷放大器、动态信号分析仪进行振动测量的原理及应用。
6) piezoresistive accelerometer
压阻式加速度计
1.
Design and analysis of a two-end fixed beam structure of piezoresistive accelerometer;
压阻式加速度计双端固支梁结构的设计与分析
2.
A novel piezoresistive accelerometer based on the AlAs/InxGa1-xAs/GaAs resonant tunneling thin films has been introduced.
提出了一种新型的基于AlAs/InxGa1-xAs/GaAs共振隧穿纳米薄膜结构的压阻式加速度计结构,运用MATLAB软件对敏感结构参数进行了计算,并利用ANSYS软件对加速度计结构进行了静态和模态分析,首次采用空气桥和控制孔加工工艺对共振隧穿二极管和悬臂梁-质量块结构进行了加工,并对加工出来的加速度计结构进行了频响特性实验。
补充资料：加速度计
测量加速度的仪表。加速度测量是工程技术提出的重要课题。当物体具有很大的加速度时，物体及其所载的仪器设备和其他无相对加速度的物体均受到能产生同样大的加速度的力，即受到动载荷。欲知动载荷就要测出加速度。其次，要知道各瞬时飞机、火箭和舰艇所在的空间位置，可通过惯性导航（见陀螺平台惯性导航系统）连续地测出其加速度，然后经过积分运算得到速度分量,再次积分得到一个方向的位置坐标信号,而三个坐标方向的仪器测量结果就综合出运动曲线并给出每瞬时航行器所在的空间位置。再如某些控制系统中，常需要加速度信号作为产生控制作用所需的信息的一部分，这里也出现连续地测量加速度的问题。能连续地给出加速度信号的装置称为加速度传感器。
常见加速度计的构件如下：外壳(与被测物体固连)、参考质量、敏感元件、信号输出器等。加速度计要求有一定量程和精确度、敏感性等，这些要求在某种程度上往往是矛盾的。以不同原理为依据的加速度计，其量程不同（从几个g到几十万个g），它们对交变加速度频率的敏感性也各不相同。常见的加速度计所依据的原理有：①参考质量由弹簧与壳体相连（见图），它和壳体的相对位移反映出加速度分量的大小，这个信号通过电位器以电压量输出；②参考质量由弹性细杆与壳体固连，加速度引起的动载荷使杆变形，用应变电阻丝感应变形的大小，其输出量是正比于加速度分量大小的电信号；③参考质量通过压电元件与壳体固连，质量的动载荷对压电元件产生压力，压电元件输出与压力即加速度分量成比例的电信号；④参考质量由弹簧与壳体连接,放在线圈内部,反映加速度分量大小的位移改变线圈的电感，从而输出与加速度成正比的电信号。此外，尚有伺服类型的加速度计，其中引入一个反馈回路，以提高测量的精度。为了测出在平面或空间的加速度矢量，需要两个或三个加速度计，各测量一个加速度分量。
角加速度计的原理类似加速度计，它的外盒装在转动物体上，由于角加速度，在参考质量上产生切向动载荷，可输出与切向加速度或角加速度大小成比例的信号。随被测运动物体和测量要求的不同，加速度计有各种原理和实现方式。如在飞行器上，有按陀螺原理设计的陀螺加速度仪等。
参考书目
D.N.Keast, Measurement in Mechanical Dynamics,McGraw-Hill,New York,1967.
常见加速度计的构件如下：外壳(与被测物体固连)、参考质量、敏感元件、信号输出器等。加速度计要求有一定量程和精确度、敏感性等，这些要求在某种程度上往往是矛盾的。以不同原理为依据的加速度计，其量程不同（从几个g到几十万个g），它们对交变加速度频率的敏感性也各不相同。常见的加速度计所依据的原理有：①参考质量由弹簧与壳体相连（见图），它和壳体的相对位移反映出加速度分量的大小，这个信号通过电位器以电压量输出；②参考质量由弹性细杆与壳体固连，加速度引起的动载荷使杆变形，用应变电阻丝感应变形的大小，其输出量是正比于加速度分量大小的电信号；③参考质量通过压电元件与壳体固连，质量的动载荷对压电元件产生压力，压电元件输出与压力即加速度分量成比例的电信号；④参考质量由弹簧与壳体连接,放在线圈内部,反映加速度分量大小的位移改变线圈的电感，从而输出与加速度成正比的电信号。此外，尚有伺服类型的加速度计，其中引入一个反馈回路，以提高测量的精度。为了测出在平面或空间的加速度矢量，需要两个或三个加速度计，各测量一个加速度分量。
角加速度计的原理类似加速度计，它的外盒装在转动物体上，由于角加速度，在参考质量上产生切向动载荷，可输出与切向加速度或角加速度大小成比例的信号。随被测运动物体和测量要求的不同，加速度计有各种原理和实现方式。如在飞行器上，有按陀螺原理设计的陀螺加速度仪等。
参考书目
D.N.Keast, Measurement in Mechanical Dynamics,McGraw-Hill,New York,1967.
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
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