补充资料：超高真空

分子式：
CAS号：

性质：压力低于10-6Pa的气态空间。在超高真空条件下可以获得免于污染的清洁固体表面。现在多用无油超高真空系统产生。该系统主要由预抽泵、主体泵和金属阀门组成。常用的预抽泵有分子筛吸附泵或机械泵加分子筛吸附阱。主体泵有钛泵、钛升华泵、弹道式钛泵等，真空度可达10-9Pa。

说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。