1) design of lithography lens
光刻物镜设计
2) lithography lens
光刻物镜
1.
The simplicity method of MTF test for submicron projection lithography lenses;
亚微米投影光刻物镜MTF的简便测定方法
2.
The design of 193nm projection lithography lens has been introduced.
介绍工作波长为193nm的投影光刻物镜的研制,对结构型式的确定和材料的选择以及加工装配工艺进行充分考虑,提出投影光刻物镜结构设计和装配方法。
3) photoetching figure design
光刻版设计
4) photolithographic lenses
投影光刻物镜
1.
Optical assembly and rectification of sub micro (i line and g line) photolithographic lenses;
亚微米(i线和g线)投影光刻物镜的光学装校
5) Lithography Lenses
大视场光刻物镜
6) projective lens
光刻镜头
1.
In this paper, author mainly introduced the basic requirement,craftwork method and guarantee measurement in assemble structure,material,procession, centering, inspection, adjustment and junction of projective lens of stepper.
重点介绍投影光刻镜头的装配结构、材料和加工、定心、检测、调整、连接等关键工艺环节的基本要求、工艺方法和保证措施。
补充资料：1350mm双流板坯连铸机(重庆钢铁设计研究院设计)
1350mm双流板坯连铸机(重庆钢铁设计研究院设计)
叠 135Omm双流板坯连铸机(重庆钢铁设计研究院设计)
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条