1) photoassisted wet etching
光辅助湿法腐蚀
1.
Compared with the etching of hexagonal GaN (h-GaN) grown on Al_2O_3(0001),it is found that the photoassisted wet etching behavior of c-GaN grown on GaAs is different from that of h-GaN on sapphire.
研究了用金属有机物气相外延 (MOVPE)方法在 Ga As(0 0 1)衬底上生长的立方相 Ga N(c- Ga N)外延层的光辅助湿法腐蚀特性 ,并和生长在蓝宝石 (0 0 0 1)衬底上的六方相 Ga N (h- Ga N)外延层的光辅助湿法腐蚀特性进行了比较 。
2) laser assisted etching
激光辅助腐蚀
3) laser-assisted wet etching
激光辅助液相腐蚀
5) wet etching
湿法腐蚀
1.
Research on wet etching technique for SiGe HBT emitter mesa for mation;
SiGe HBT发射极台面湿法腐蚀技术研究
2.
To avoid the under-cutting phenomenon caused by the anisotropy of wet etching technology in the machining process of micro accelerometer,mask patterns for compensation should be designed according to the requirement of etching speed and depth before corrosion,then perfect shape of convex corner can be obtained after a given etching time.
为了避免微加速度计在加工过程中,由于湿法腐蚀的各向异性而造成的凸角处产生削角现象,必须根据各个晶向的腐蚀快慢特性和腐蚀深度的要求,在腐蚀开始前设计好补偿的掩膜图形,使之在特定的腐蚀时间后显现出理想的凸角形状。
3.
In this paper,the processing on wet etching,metal sputtering,sintering of source and drain contacts were discussed in detail.
具体讨论了湿法腐蚀进行隔离台面,磁控溅射制作电极,快速热退火制作源漏低阻的欧姆接触等工艺步骤。
6) Wet etch
湿法腐蚀
1.
In this paper, process parameters of micromachined pressure sensor are obtained through the research of fabrication process of silicon-based micromachined pressure sensor, especially the wet etching process of microcaves.
微压力传感器是一种应用广泛的传感器，本文通过研究硅基微压力传感器相关的制备工艺，特别是微硅腔的湿法腐蚀工艺，确定了微压力传感器的制备工艺参数。
补充资料：舰艇辅助装置和辅助机械
舰艇上用于保证舰艇操纵、损害管制和舰员生活的辅助性装置和机械的统称。一般战斗舰艇的辅助装置和辅助机械有：
操舵装置 亦称舵机装置。用于保持和改变舰艇航向；潜艇升降舵用于保持和改变潜艇深度。它包括操纵机构、原动机、传动机构和舵。操纵机构有人工操纵和自动控制两种。舵机的原动机一般为两套电动机，安装在舵机舱内。传动机构有机械传动和液压传动两种。
锚机和绞盘机 用于起、抛锚和系缆的机械。一般安装在前、后甲板上。原动机一般为电动机，传动机构有机械传动和液压传动两种。
空气压缩机 用于为操作系统、自动控制系统、发射系统及起动柴油机等提供压缩空气。主要有电动往复式和自由活塞式内燃压缩机。
减摇装置 用以减少舰艇横向摇摆，提高武器的命中率，改善舰员工作和生活条件。由检测、放大、液压传动和减摇鳍四部分组成。可使舰艇在航行中的横摇角稳定在6度以内。
造水装置 亦称制淡装置。用于将海水提制成合乎要求的淡水，以保证锅炉蒸馏水、舰员饮用水、机械冷却水等的供应。多数为蒸发式，也有电渗析式。蒸发式造水装置以蒸汽、废热或电力为热源。以蒸汽为热源的造水量大，装备在蒸汽轮机动力的水面舰艇和核动力潜艇上；以废热或电力为热源的造水量小，一般装备在柴油机动力的舰艇上。
冷藏和空调装置 用于冷藏食物和调节舱室内的温度、湿度，以保证舰员生活和电子设备、精密仪器正常工作。其主要部分是制冷装置，多数为压缩制冷，也有吸收式制冷或半导体制冷。
辅助锅炉 用以为暖机和舰员生活提供蒸汽，有的还可向汽轮发电机供汽，以保证停泊用电。分为水管式和火管式,新型的多为水管式,且已发展为自动控制。有的辅助锅炉利用主机废气的余热产生蒸汽，亦称废气锅炉。
泵 按用途区分，有消防泵、排水泵、平衡泵、输油泵、卫生泵等。按工作原理区分，有叶片泵（离心泵、轴流泵等）、容变式泵（齿轮泵、螺杆泵、往复泵等）、喷射泵等。一般都是固定式的，有的小型消防泵和排水泵是移动式的。其原动机多数为电动机，少数为蒸汽轮机、汽油机或燃气轮机。
通风机 用以保证舱室内的空气新鲜和保持适当温度。多数为离心式，其原动机一般为电动机。有的通风机与通风管组成通风系统。
操舵装置 亦称舵机装置。用于保持和改变舰艇航向；潜艇升降舵用于保持和改变潜艇深度。它包括操纵机构、原动机、传动机构和舵。操纵机构有人工操纵和自动控制两种。舵机的原动机一般为两套电动机，安装在舵机舱内。传动机构有机械传动和液压传动两种。
锚机和绞盘机 用于起、抛锚和系缆的机械。一般安装在前、后甲板上。原动机一般为电动机，传动机构有机械传动和液压传动两种。
空气压缩机 用于为操作系统、自动控制系统、发射系统及起动柴油机等提供压缩空气。主要有电动往复式和自由活塞式内燃压缩机。
减摇装置 用以减少舰艇横向摇摆，提高武器的命中率，改善舰员工作和生活条件。由检测、放大、液压传动和减摇鳍四部分组成。可使舰艇在航行中的横摇角稳定在6度以内。
造水装置 亦称制淡装置。用于将海水提制成合乎要求的淡水，以保证锅炉蒸馏水、舰员饮用水、机械冷却水等的供应。多数为蒸发式，也有电渗析式。蒸发式造水装置以蒸汽、废热或电力为热源。以蒸汽为热源的造水量大，装备在蒸汽轮机动力的水面舰艇和核动力潜艇上；以废热或电力为热源的造水量小，一般装备在柴油机动力的舰艇上。
冷藏和空调装置 用于冷藏食物和调节舱室内的温度、湿度，以保证舰员生活和电子设备、精密仪器正常工作。其主要部分是制冷装置，多数为压缩制冷，也有吸收式制冷或半导体制冷。
辅助锅炉 用以为暖机和舰员生活提供蒸汽，有的还可向汽轮发电机供汽，以保证停泊用电。分为水管式和火管式,新型的多为水管式,且已发展为自动控制。有的辅助锅炉利用主机废气的余热产生蒸汽，亦称废气锅炉。
泵 按用途区分，有消防泵、排水泵、平衡泵、输油泵、卫生泵等。按工作原理区分，有叶片泵（离心泵、轴流泵等）、容变式泵（齿轮泵、螺杆泵、往复泵等）、喷射泵等。一般都是固定式的，有的小型消防泵和排水泵是移动式的。其原动机多数为电动机，少数为蒸汽轮机、汽油机或燃气轮机。
通风机 用以保证舱室内的空气新鲜和保持适当温度。多数为离心式，其原动机一般为电动机。有的通风机与通风管组成通风系统。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条