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1)  DRIE
硅深刻蚀
2)  Deep silicon etching
深硅刻蚀
3)  etch of deep silicon trenches
硅深槽刻蚀
4)  silicon deep etching process
硅深刻蚀工艺
1.
Making method of high deep-width rate, batch production of planar windings with LIGA process and silicon deep etching process is researched .
较深入地研究了以LIGA工艺、硅深刻蚀工艺为主的平面绕阻的高深宽比、批量化制作方法。
5)  Silicon etching
硅刻蚀
1.
It is reviewed various silicon etching methods for electronic devices.
概述了电子器件中的各种硅刻蚀技术,提出了新的旋转喷射硅腐蚀方案,对2种酸腐蚀挖槽方法进行了试验对比。
6)  silicon mesa etching
硅台刻蚀
补充资料:水泵气蚀(见空化与空蚀)


水泵气蚀(见空化与空蚀)


shuibeng qishi水泵气蚀见空化与空蚀。
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参考词条