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1)  Silicon micromechanical resonator
硅微谐振器件
2)  silicon micro-resonator
硅微谐振器
1.
The working principle of silicon micro-resonator system was firstly introduced.
介绍了硅微谐振器系统的工作原理,重点给出了一种基于新型的DDS器件AD9954的智能谐振系统设计与实现。
3)  silicon microresonator
硅微谐振器
1.
s: An experimental study on the photothermal excitation of bi-layered silicon microresonator is presented.
对镀膜双层硅微机械谐振器的光热激励进行了实验研究 ,在大气环境下对硅微谐振器进行了光激电拾实验测试和光激光拾实验测试。
4)  silicon resonant micro-sensor
硅谐振微传感器
1.
In the application of small sensor and micro-sensor,especially the silicon resonant micro-sensor,the weak signal detection with low Signal Noise Ratio(SNR),the miniaturization and the anti-jamming problems of the closed loop system are quite outstanding.
在微小型特别是硅谐振微传感器中,低信噪比的微弱信号检测,电路的小型化和抗干扰等问题十分突出。
5)  micro electrostatic resonator
静电硅微谐振器
6)  Silicon-micro-resonant sensor
硅微谐振传感器
补充资料:后硅器件时代材料

它是指iii-v族半导体(gaas、inp等)、第三代半导体(gan)和高温半导体(sic、znse、cbn和金刚石)。

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