2) electrochemical mechanical polishing
电化学机械研磨
1.
Some new processes and technologies for electronics finishing were introduced, such as wafer plating, electrochemical mechanical polishing, microelectro-mechanical system plating, copper plating using insoluble anode, platinized niobium electrode, lead and cadmium free eleclroless nickel, recycling of alkaline etching solution and reclaiming system of copper.
介绍了电子电镀中的若干新工艺新技术,如芯片电镀、电化学机械研磨、微机电系统电镀、不溶性阳极电镀铜、镀铂铌电极以及无铅无镉中磷光亮化学镀镍、碱性蚀刻液再生和铜回收系统等。
3) chemical mechanical lapping
机械化学研磨
4) chemical mechanical grinding and polishing
化学机械研磨抛光
5) chemical mechanical poslishing
化学机械磨
6) mechanical lapping
机械研磨
1.
Vibration of lapping machine is an important influencing factor on the lapping quality of diamond cutting tools in mechanical lapping, especially in the precision lapping process.
研磨机床的振动是影响金刚石刀具机械研磨质量的重要因素,尤其在精密研磨工序。
2.
The critical condition for plastic deformation of lapped surface layer in mechanical lapping single crystal diamond is analyzed in theory firstly.
为研究单晶金刚石晶体机械研磨过程中表层材料的去除机理,首先从理论上分析了单晶金刚石晶体在机械研磨过程中表层材料发生塑性变形的临界条件,并利用原子力显微镜对研磨后的(110)晶面和(100)晶面进行观测,发现两个晶面沿易磨方向<100>和难磨方向<110>研磨时的研磨表面都存在塑性变形后的纳米沟槽,表明表层材料实现了塑性方式去除。
3.
In the paper, mechanical lapping was used for lapping thick CVD diamond and the lapping rate was 6.
本文采用了机械研磨法来研磨CVD金刚石厚膜,研磨速率达6。
补充资料：化学机械法制浆
采用化学预处理和机械磨解后处理的制浆方法。先用药剂进行轻度预处理（浸渍或蒸煮），除去木片中部分半纤维素，木素较少溶出或基本未溶出，但软化了胞间层。再经盘磨机进行后处理，磨解软化后的木片（或草片）,使纤维分离成纸浆，简称化机浆(CMP)。化学机械法制浆与机械法制浆不同之处为有化学软化预处理阶段,与化学法制浆不同之处为化学处理过程比较温和,如浸渍或蒸煮时间短，温度较低，药品用量少等，但需经磨解方能成浆。
化学机械法制浆可以较好地利用阔叶木等作原料，且其制浆得率比化学法制浆高。为了节约与开拓原料资源，并适应纸板生产高速发展的需要，这种制浆方法在近30年来，发展较快。以木材为原料的化机浆对原料的得率为65～94％。其中得率在65～84％之间的，也常称为半化学浆。
沿革 1874年，德国化学家A.密切利希建议先将木片用亚硫酸或亚硫酸氢盐处理后磨解成浆。1921年美国林产实验室工作人员发现在制浆用的亚硫酸钠溶液中加入少量的烧碱或碳酸钠调节pH值有利于防止设备腐蚀，同时也发现，只要纸浆的得率在60～70％时，用机械法分离纤维，即可制成纸浆。基于此，美国于1925年建立了第一个以中性亚硫酸钠药液(Na2SO3＋Na2CO3)进行蒸煮化学预处理，再磨解成浆的化学机械法纸浆厂。高尔达造纸公司则于1955年用烧碱(NaOH)溶液在常压下预浸木片的化学预处理后，磨解成浆，称为冷碱法制浆。其后又出现了许多不同类型的化学预处理和磨解方式组合而成的化学机械制浆方法。
制浆工艺 化学预处理及机械磨浆是化学机械法制浆的两个最基本的工艺过程。化学预处理有常压预浸、加压预浸、加温加压预蒸煮等多种方式，并可采用烧碱、亚硫酸钠、碳酸钠、亚硫酸铵和绿液等各种不同的化学药剂。磨浆也可采用常压或加压磨，以及单段磨或双段磨等不同方式。使用不同的化学预处理方法以及不同的磨浆方式，可以组成多种不同的工艺流程，其中比较重要的有:化学热磨机械法流程（图1）,所制得的纸浆称为化学热磨机械浆(CTMP);中性亚硫酸盐半化学法流程，所制得的纸浆称为中性亚硫酸盐半化学浆(NSSC)；冷碱法流程，所制纸浆称为冷碱法化机浆。化学机械法制浆最主要的设备是盘磨机(图2)。纤维原料由喂料器输入盘磨机的进料口，通过高速旋转的齿盘，磨解成浆后，经离心力作用由浆料出口输出。根据需要也可采用过氧化氢、连二亚硫酸钠和次氯酸盐等漂白剂对化机浆进行漂白。
化机浆的性质和用途 化学机械法制浆的化学预处理比化学法制浆的蒸煮过程温和得多，对原料的脱木素作用较小，对纤维素的破坏也少，仅分子量较低的半纤维素溶出较多,因此,所制得的化机浆一般含有较高的木质素和纤维素组分，较低的半纤维素组分。这种纸浆的物理强度介于化学浆与机械浆之间，能使成纸具有十分良好的挺度，其漂白、水化和滤水性能比较接近于机械浆。但不同品种的化机浆的得率差别较大，低的为65％，高的可达94％，因而其化学组分仍存在不小差异。一般得率较低的本色化机浆的物理强度较高，多用于生产包装纸板及瓦楞原纸等；其漂白浆多用于生产中档印刷纸类。得率较高而色泽较浅或经过适当漂白的化机浆则多用于生产新闻纸、中低档印刷纸或配用于涂布加工原纸。在各种化机浆中，以阔叶木中性亚硫酸钠法半化学浆的产量最大，主要用于纸板生产。
参考书目
天津轻工业学院等合编：《制浆造纸工艺学》，第一版，轻工业出版社，北京，1980。
化学机械法制浆可以较好地利用阔叶木等作原料，且其制浆得率比化学法制浆高。为了节约与开拓原料资源，并适应纸板生产高速发展的需要，这种制浆方法在近30年来，发展较快。以木材为原料的化机浆对原料的得率为65～94％。其中得率在65～84％之间的，也常称为半化学浆。
沿革 1874年，德国化学家A.密切利希建议先将木片用亚硫酸或亚硫酸氢盐处理后磨解成浆。1921年美国林产实验室工作人员发现在制浆用的亚硫酸钠溶液中加入少量的烧碱或碳酸钠调节pH值有利于防止设备腐蚀，同时也发现，只要纸浆的得率在60～70％时，用机械法分离纤维，即可制成纸浆。基于此，美国于1925年建立了第一个以中性亚硫酸钠药液(Na2SO3＋Na2CO3)进行蒸煮化学预处理，再磨解成浆的化学机械法纸浆厂。高尔达造纸公司则于1955年用烧碱(NaOH)溶液在常压下预浸木片的化学预处理后，磨解成浆，称为冷碱法制浆。其后又出现了许多不同类型的化学预处理和磨解方式组合而成的化学机械制浆方法。
制浆工艺 化学预处理及机械磨浆是化学机械法制浆的两个最基本的工艺过程。化学预处理有常压预浸、加压预浸、加温加压预蒸煮等多种方式，并可采用烧碱、亚硫酸钠、碳酸钠、亚硫酸铵和绿液等各种不同的化学药剂。磨浆也可采用常压或加压磨，以及单段磨或双段磨等不同方式。使用不同的化学预处理方法以及不同的磨浆方式，可以组成多种不同的工艺流程，其中比较重要的有:化学热磨机械法流程（图1）,所制得的纸浆称为化学热磨机械浆(CTMP);中性亚硫酸盐半化学法流程，所制得的纸浆称为中性亚硫酸盐半化学浆(NSSC)；冷碱法流程，所制纸浆称为冷碱法化机浆。化学机械法制浆最主要的设备是盘磨机(图2)。纤维原料由喂料器输入盘磨机的进料口，通过高速旋转的齿盘，磨解成浆后，经离心力作用由浆料出口输出。根据需要也可采用过氧化氢、连二亚硫酸钠和次氯酸盐等漂白剂对化机浆进行漂白。
化机浆的性质和用途 化学机械法制浆的化学预处理比化学法制浆的蒸煮过程温和得多，对原料的脱木素作用较小，对纤维素的破坏也少，仅分子量较低的半纤维素溶出较多,因此,所制得的化机浆一般含有较高的木质素和纤维素组分，较低的半纤维素组分。这种纸浆的物理强度介于化学浆与机械浆之间，能使成纸具有十分良好的挺度，其漂白、水化和滤水性能比较接近于机械浆。但不同品种的化机浆的得率差别较大，低的为65％，高的可达94％，因而其化学组分仍存在不小差异。一般得率较低的本色化机浆的物理强度较高，多用于生产包装纸板及瓦楞原纸等；其漂白浆多用于生产中档印刷纸类。得率较高而色泽较浅或经过适当漂白的化机浆则多用于生产新闻纸、中低档印刷纸或配用于涂布加工原纸。在各种化机浆中，以阔叶木中性亚硫酸钠法半化学浆的产量最大，主要用于纸板生产。
参考书目
天津轻工业学院等合编：《制浆造纸工艺学》，第一版，轻工业出版社，北京，1980。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条