1) copper interconnection
铜布线
1.
Mechanism of copper interconnection CMP in ULSI was studied.
研究了ULSI多层互连工艺中铜布线的CMP的机理;对影响抛光速率和抛光后表面状态的诸因素,如抛光条件、抛光方式和抛光耗材进行了分析;特别针对抛光液对铜布线CMP的影响,提出了目前存在的主要问题,并对未来的研究方向和研究内容进行了展望。
2) copper metallization
铜布线
1.
In this study,60 nm tantalum (Ta) films were deposited with different rates by a sputtering process as diffusion barrier for copper metallization.
在硅衬底上用不同淀积速率溅射得到了 60 nm厚钽薄膜作为铜布线工艺中的扩散阻挡层。
3) copper process
铜布线工艺制程
4) Copper Distributed Data Interface (CDDI)
铜线分布式数据接口
5) copper wire
铜线;铜丝
6) copper wire
铜线
1.
Cause and categories of wire breakage and its prevention in copper wire drawing;
铜线生产中断线原因、类型的分析和防范
2.
In this paper,the principle of using the copper wire as the intermediate electrode in the canbody welder has been expounded,and it lays out how to extend copper wire.
对电阻焊机中采用铜线的机理 ,及铜线运行路线中机构设置作了比较详细的论述。
3.
In this paper,the principle of using the copper wire as the intermediate electrode in the canbody welder has been expounded,and laying out how to extend copper wire has been discusse
本文对电阻焊机中采用铜线的机理 ,及铜线运行路线中机构设置作了比较详细的论述。
补充资料：布线动态弹性模量
分子式：
CAS号：
性质：又称布线动态弹性模量。是材料动态特性的重要指标之一。是指对帘线作正弦波应变时，其所产生的应力也按正弦函数变化。其应力由两部分组成：一部分与应变同相；另一部分与应变相差90°，取与应变同相成分为帘线的动态模量。
CAS号：
性质：又称布线动态弹性模量。是材料动态特性的重要指标之一。是指对帘线作正弦波应变时，其所产生的应力也按正弦函数变化。其应力由两部分组成：一部分与应变同相；另一部分与应变相差90°，取与应变同相成分为帘线的动态模量。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条