1) CMOS
互补金属氧化物半导体集成电路（CMOS）
2) complement
互补
1.
New method the vehicle license plate character segmentation based on concomitant and complementary color features;
基于伴生与互补颜色特征的车牌字符分割新方法
2.
New method of vehicle license plate location using concomitant and complementary color feature;
利用伴生与互补颜色特征的车牌定位新方法
3.
Bureaucracy and Present Public Management: Complement and Combination;
官僚制与新公共管理:互补与融合
3) complementarity
互补
1.
Approaches for objective function constructing with complementarity in parameters;
参数互补性目标函数构造方法研究
2.
Analysis of Principle of Complementarity Between Rule by Law and Rule by Moral in China;
德治与法治的互补原理剖析
3.
Rising through Cooperation: Complementarity and Cooperation between China and India on Economy and Trade;
合作中共同崛起——中、印在经贸领域的互补与合作
4) complementary
互补
1.
They are complementary, which is beneficial to the lasting peace and stability.
二者互补 ,有利于国家长治久安。
2.
This paper proposes a new aperiodic correlation signal,which is complementary binary array pairs(CBAP).
具有良好非循环相关特性的序列中,互补序列最具有代表性。
3.
Based on the I-V characteristics of single-electron transistor (SET) and the concepts of CMOS digital integrated circuit design, a full adder which consists of 28 complementary SETs is proposed.
基于单电子晶体管(SET)的IV特性和CMOS数字电路的设计思想,提出了一种由28个互补型SET构成的全加器电路结构。
5) Complementation
互补
1.
On complementation of pumped storage and wind power;
抽水蓄能与风电互补的探讨
2.
When the two plasmids were transferred separately into the nodD mutant, complementation was observed.
通过功能互补法从Frankia菌株At4的基因文库中筛选到可互补豌豆根瘤菌nodD基因功能的pAt2GX和pAt3GX,把pAt2GX和pAt3GX重新导入tmdD突变体中,接种豌豆苗,可观察到nodD突变体恢复了结瘤功能。
3.
The greater the status of the three laws varies,the more urgent their harmonization,interaction and complementation are.
越是定位的不同越意味着需要交融,越意味着需要互动、互补,越意味着在准确把握三法特性的基础上充分发挥其在综合调整社会关系,解决社会重大问题上的作用。
6) mutual complement
互补
1.
Meanwhile the coexistence,integration and competition between multimedia teaching and traditional teaching are emphasized and accelerating the development of multimedia teaching in competition and mutual complement is advocated.
从介绍多媒体技术入手,阐述在教学中应用多媒体技术带来的效应,总结了当前在教学中应用多媒体技术尚存在的不足之处,进而提出进一步发挥多媒体技术在教学中的作用的对策建议,突出主张多媒体教学和传统教学的共处、结合和竞争,倡导在竞争和互补中推动多媒体教学的发展。
2.
It discusses the connotation, types, features as well as consistency of world view, and finally reveals the mutual complement of world views as well as their important role in scientific inquiry.
人类在认识世界过程中形成了四种不同的世界观,即神秘诗意世界观、有机论世界观、机械论世界观和语境论世界观,这些世界观表面上看是对立的,而实质上是相互联系、相互作用并且具有内在一致性的,彼此可以整合为新的世界观,其中互补性是描述不同世界观之间整合的最佳概念框架,并且它的对科学认知具有重要的作用和意义。
3.
There are some rules found in this phenomenon and the three main forms of them can be named as mutual explanation, mutual complement and mutual referring.
“互文”有三条规律 :一是互训 ,二是互补 ,三是互推。
参考词条
补充资料：金属-氧化物-半导体集成电路
以金属-氧化物－半导体(MOS)器件为基础的单片集成电路。主要是以硅为衬底，SiO2为氧化层的硅 MOS集成电路。实际上，还有以蓝宝石为衬底，其上外延生长硅单晶层制作的 MOS集成电路和以砷化镓等高迁移率材料为衬底的砷化镓MOS集成电路等。
发展简况 1959年,利用场效应原理研制成MOS场效应晶体管。后又把MOS技术用于MOS集成电路的研究，并于 1962年研制成功。MOS集成电路比双极型集成电路更便于实现大规模集成，所以很快地向中规模和大规模集成方向发展。1968年，出现了大规模集成电路的 P沟道MOS存储器。随后,单片MOS计算器、MOS微处理器也相继于1970年和1971年间问世。
60年代，MOS集成电路主要是铝栅P沟道电路。这种MOS集成电路的电源电压较高（18～20伏）,常需要两个电源，而且与外部电路连接要有专门的接口电路，使用不很方便。此外，在铝栅MOS工艺中,必须先做源、漏PN结，最后才能制作铝栅(因铝层不能经受高温处理)。因而，版图设计中，栅源和栅漏需有相当的覆盖，覆盖电容较大。P沟道导电载流子空穴的迁移率比电子低,所以，铝栅P沟道MOS集成电路的速度较低，一般只能用到1～2兆赫。70年代前期研制成功硅栅N沟道MOS（NMOS）电路（见N沟道金属-氧化物-半导体集成电路）,很快便取代了铝栅PMOS电路。NMOS电路的出现比 PMOS电路（见P沟道金属-氧化物-半导体集成电路）迟了将近10年，主要原因是NMOS电路要求更纯净的SiO2膜、更少的可动电荷和固定电荷、更低的界面态密度。
硅 MOS集成电路的集成度（以动态随机存储器为代表）到1975年前后，几乎以每 2年提高 4倍的速度增长。这是下面三方面技术进展的结果：①在硅片质量不断提高的基础上，芯片面积不断增大；②电路设计的创新使单元电路面积不断缩小；③光刻精度不断提高保证了集成电路元件集成密度的持续提高。70年代后期以来，由于电路革新比较迟缓，集成度增长上升速度稍缓，但仍为每3年左右提高4倍。
70年代末期之前,MOS集成电路只是在数字电路领域发挥较大的作用；在模拟量处理方面双极型集成电路处于优势。但是进入80年代以后，由于 MOS大规模集成电路性能价格比不断提高,MOS数-模和模-数转换器的发展也很快。在 MOS芯片上对模拟量进行离散化处理的技术有很大的发展，已研制出一些MOS模拟集成电路,如运算放大器和开关电容滤波器等。在此基础上，各种通用和专用的信号处理器产品日益增多,MOS大规模集成电路已广泛用于通信，特别是电话通信、图像和语音识别等新的领域。
电路形式和基本结构 图1为基本MOS反相器的电路形式。图2是与图1a对应的增强型 MOS场效应晶体管负载反相器的剖面图和俯示版图。反相器由T1和T2两个MOS场效应晶体管组成。T1用作负载,称为负载管,T2称为工作管。通常,后级工作管的栅电容连同PN结寄生电容,就是前级的负载。当T2的输入端电压(Ui)小于其阈电压()即Ui＜-δ1(δ为必要的余量)时，T2截止,电源通过T1向负载电容充电，使输出电压U0达到高电平(UDD-)(UDD为电源电压)。这一高电平应比工作管的阈电压大δ2以上，即U0＝UDD-＞+δ2。 当T2输入电平为高电平(Ui＞+δ2)时,T2导通，使负载电容对地放电,U0降低,其最后数值决定于T2与T1的导通电阻之比。除工作电压因素外,T2、T1导通电阻之比取决于导电因子β之比。而β正比于 MOS场效应管的宽长比(W/L)、栅电容C和迁移率μ,β=μC(W/L)。因此,适当选择(W/L)1和(W/L)2的比例，就可以在Ui为高电平时使U0为低电平(U0＜-δ1)，从而实现信号的反相和放大。这种反相器与 MOS场效应晶体管开关相结合，便能组成各种MOS数字集成电路。
依反相器负载器件的不同，MOS电路可分为图1中的几种形式。图1 a是以增强型MOS场效应晶体管为负载管的增强型-增强型电路;图1b的负载管是耗尽型MOS场效应晶体管,通过沟道区离子注入掺杂使UT＜0而形成的。这种电路称为增强型与耗尽型金属-氧化物-半导体集成电路；图1c以电阻为负载,称为增强型-电阻电路；图1d的反相器由两只导电类型相反的即PMOS和NMOS场效应晶体管所组成,推挽工作,称为CMOS电路。增强型-增强型电路的优点是工艺简单,但工作速度和功率消耗的综合指标即功耗与延时乘积最差，逻辑摆幅也低(最高电平为UDD－)。增强型－耗尽型(D-MOS)电路的D负载管,在零栅压下仍然导通，因而逻辑摆幅大（最高电平为UDD）。按图1b连接时,D-MOS场效应晶体管对负载的充电接近恒流，因而充电速度快，电路可以达到很高的工作速度，有较低的功耗与延时乘积。此外,经适当设计,增强型-耗尽型反相器的宽长比(W/L)常可取为1/1左右,对缩小版图面积有利。增强型－耗尽型电路的问题是工艺较复杂,在超大规模集成电路中,其直流功耗嫌太大。增强型-电阻电路的速度也较快,逻辑摆幅也大。利用离子注入到SiO2层上的多晶硅条，已能制作各种阻值的电阻，只占用很小的硅片面积。因此，这种电路形式已在不少场合得到有效应用。CMOS反相器中的两只 MOS场效应晶体管随不同的输入电平总是一只导通,另一只截止,没有直流导通电流(只是在状态变化的瞬间有电流导通)。因此，CMOS电路是功耗最低的电路。为了将两种导电类型不同的MOS场效应晶体管做在一个芯片上,CMOS须为其中一种管子制作专门的隔离阱（利用扩散或离子注入进行掺杂）。一般说，CMOS电路工艺比较复杂，面积也比较大。在面积太小时，还会出现所谓的闸锁效应（见互补金属-氧化物-半导体集成电路）。在超大规模集成电路的发展中,降低功耗密度是首要问题,所以CMOS在超大规模集成电路中是一种主要的技术。实际上，由于工艺技术的不断发展，人们正在研究将上述几种电路形式（包括双极电路）协调兼容在一个芯片上的技术，这使大规模集成电路的设计有更大的灵活性和更高的性能价格比。
在静态工作条件下，为了保证输出有良好的低电平，T1和T2的宽长应有一定的比值(CMOS除外)。因此，这种MOS电路被称为有比电路。如果负载管的栅电压或漏电压用时钟脉冲馈电，利用负载电容的电荷存储性质，此馈电脉冲可与输入脉冲Ui在不同的时间交错馈入。这时的MOS电路便处于动态工作状态，称为动态MOS电路。动态MOS电路的电流通导时间短,一般没有T1和T2之间宽长比的要求,称为无比电路。MOS动态电路具有面积小、功耗低等优点，而且可利用各种自举形式提高输出电平，可大大加快电路的工作速度。因此,在MOS大规模集成电路设计中,动态设计十分重要。如果与静态电路相结合,可大大提高MOS大规模集成电路的性能。
从结构或工艺技术来说,MOS集成电路大体上可以分为PMOS、NMOS、和CMOS三类。各类中又有铝栅、硅栅等的区别。超大规模集成电路技术已开始采用高熔点金属或其硅化物制作栅，但实质上仍可把他们归到硅栅技术一类。由于硅栅NMOS在速度、面积各方面都远优于铝栅PMOS结构，除少数小型或廉价的MOS集成电路以外,已很少采用PMOS和铝栅技术。对硅栅（或高熔点金属及其硅化物栅）NMOS，依照尺寸按比例缩小的原则，随着器件尺寸的适当缩小，每级门的延时与功耗乘积会大大降低，即性能可以大大提高。作为尺寸缩小的直接后果，集成度也会相应提高。向这个方向发展的 MOS集成电路技术以及相应的结构，称为HMOS（见高性能金属-氧化物-半导体集成电路。CMOS技术可以分为P阱和N阱两种（图3a，b）。这两种 CMOS结构各有长处。过去，由于CMOS产品是从PMOS发展而来的,故P阱居多。但N阱CMOS发展很快。
除了上述几种常用的MOS集成电路结构外,还有一些特殊的MOS集成电路结构形式。其中,比较成功的有：①DMOS（见双扩散金属-氧化物-半导体集成电路）或 DSA MOS（扩散自对准MOS结构,图4a）。它利用侧向扩散效应，使自对准的沟道长达微米和亚微米水平，从而获得很高的电路工作速度；②VMOS或UMOS,即V型槽或U型槽MOS结构(见V型槽金属-氧化物-半导体集成电路)。它是利用特定晶向Si晶体的择优腐蚀特性，把MOS场效应管做在V型或U型槽内,而利用扩散、离子注入或外延方法控制其沟道长度（图4b）,使其达到亚微米水平，以实现高速度。V型或U型槽对缩小芯片面积也有一定的意义；③以蓝宝石为衬底的CMOS结构称为SOS CMOS。在绝缘衬底上制作CMOS电路，不需要制作专门的隔离阱，PN结面积和寄生电容也很小。因此，这种结构不仅功耗低，而且速度快，抗辐照性能很好。这种集成电路技术在军事上具有重要的意义。
工艺和特点 以硅栅NMOS为例,MOS集成电路的有源元件是MOS场效应管,无源元件是MOS电容和PN结电容,有时还有多晶硅电阻。元件间的隔离利用厚氧化层（称为场氧化层）；元件间的互连线同时使用扩散(或注入)层、多晶硅层和最后的金属化层。它结构简单，元件的工艺又都是兼容的,工艺也不复杂。图5是 NMOS电路主要工艺流程示意图。在切割、研磨和抛光完毕的P型(100)硅衬底上，用等平面工艺（衬底薄氧化后生长Si3N4掩蔽层,光刻出场氧区，进行B+硼场注入,然后在场区生长厚度约1微米左右的场氧化层）生长场氧化层，把非场区，即制作元件的区间刻蚀出来，进行MOS场效应管和MOS电容的栅氧化（此前，如需要进行栅区注入，应增加相应的光刻和注入工艺）;刻出多晶硅与扩散区相接的接触孔(埋孔);进行掺杂（一般掺磷），多晶硅化学汽相淀积(CVD);如需要多晶硅电阻，则要利用光刻掩蔽对多晶硅电阻区单独进行特定剂量的离子注入(用磷和砷);光刻多晶硅,刻出栅和多晶硅连线，并暴露出需要掺杂或注入的区域（包括源、漏衬底内的连线区）；进行扩散和离子注入（必要时，加入光刻限定扩散和注入区）；短时间低温热氧化后，用化学汽相淀积工艺淀积磷硅玻璃，光刻出铝层与多晶硅、扩散区、注入区的接触孔；短时间加温，使磷硅玻璃体稍有流动，以钝化台阶陡度,后蒸发铝层,再合金化、光刻铝布线和压焊块，最后进行中间测试、压焊、封装、成品测试。对于复杂的 MOS大规模集成电路中间还有一些工艺步骤，一般需要经过8、9道乃至10道以上的光刻步骤。MOS大规模集成电路工艺,实质上就是一般的硅平面工艺，只是增加了以下一些工艺步骤：①多晶硅技术；②等平面场氧化技术，提高连线的可靠性，保证有效的场隔离；③利用定剂量的离子注入技术调整MOS场效应管的阈电压。
与双极型集成电路相比，MOS集成电路的特点是:①结构简单,隔离方便（除CMOS外，有PN结自动隔离,只须用较厚的下面注有浓硼的场氧化层即可实现有效隔离）；② MOS场效应管为双向器件（源、漏结构对称）又有多晶硅作为一层布线层。布线方便，设计灵活性高，版图占面积小；③MOS电路的功耗低于双极型电路,与双极型集成电路相比,更适宜于高密度集成；④MOS集成电路具有动态工作独特的能力；⑤MOS场效应管是多子器件,其温度特性优于双极型集成电路。但是,硅MOS集成电路的速度还比不上ECL等高速双极集成电路。一般认为，MOS集成电路的功耗低，集成度高，宜于数字应用；双极型集成电路则适用于高速数字和模拟方面。
发展方向 MOS集成电路的主要发展方向有:①进一步提高集成密度和电路复杂性，即由集成电路向集成系统发展。②超高速化和微功耗化。军事应用已对超高速集成电路提出迫切的要求，许多国家大力发展超高速集成电路，主要是砷化镓大规模集成电路。由于在砷化镓、磷化铟等半导体中业已发现，当沟道缩短到亚微米以下时，会出现饱和速度过冲及冲击式的电输运现象，并利用分子束外延制成高电子迁移率晶体管等高速集成器件，为 MOS集成电路的超高速化开辟了新的前景。③研究三维集成技术和研制以新型器件为基础的集成电路。集成系统日趋复杂，连线所占的芯片面积越来越大，连线的设计也越来越困难和费时,所以具有多层元件布局的MOS大规模集成结构受到很大重视。
参考书目
清华大学微电子学研究所编:《MOS大规模集成技术》，科学出版社，北京，1984。
发展简况 1959年,利用场效应原理研制成MOS场效应晶体管。后又把MOS技术用于MOS集成电路的研究，并于 1962年研制成功。MOS集成电路比双极型集成电路更便于实现大规模集成，所以很快地向中规模和大规模集成方向发展。1968年，出现了大规模集成电路的 P沟道MOS存储器。随后,单片MOS计算器、MOS微处理器也相继于1970年和1971年间问世。
60年代，MOS集成电路主要是铝栅P沟道电路。这种MOS集成电路的电源电压较高（18～20伏）,常需要两个电源，而且与外部电路连接要有专门的接口电路，使用不很方便。此外，在铝栅MOS工艺中,必须先做源、漏PN结，最后才能制作铝栅(因铝层不能经受高温处理)。因而，版图设计中，栅源和栅漏需有相当的覆盖，覆盖电容较大。P沟道导电载流子空穴的迁移率比电子低,所以，铝栅P沟道MOS集成电路的速度较低，一般只能用到1～2兆赫。70年代前期研制成功硅栅N沟道MOS（NMOS）电路（见N沟道金属-氧化物-半导体集成电路）,很快便取代了铝栅PMOS电路。NMOS电路的出现比 PMOS电路（见P沟道金属-氧化物-半导体集成电路）迟了将近10年，主要原因是NMOS电路要求更纯净的SiO2膜、更少的可动电荷和固定电荷、更低的界面态密度。
硅 MOS集成电路的集成度（以动态随机存储器为代表）到1975年前后，几乎以每 2年提高 4倍的速度增长。这是下面三方面技术进展的结果：①在硅片质量不断提高的基础上，芯片面积不断增大；②电路设计的创新使单元电路面积不断缩小；③光刻精度不断提高保证了集成电路元件集成密度的持续提高。70年代后期以来，由于电路革新比较迟缓，集成度增长上升速度稍缓，但仍为每3年左右提高4倍。
70年代末期之前,MOS集成电路只是在数字电路领域发挥较大的作用；在模拟量处理方面双极型集成电路处于优势。但是进入80年代以后，由于 MOS大规模集成电路性能价格比不断提高,MOS数-模和模-数转换器的发展也很快。在 MOS芯片上对模拟量进行离散化处理的技术有很大的发展，已研制出一些MOS模拟集成电路,如运算放大器和开关电容滤波器等。在此基础上，各种通用和专用的信号处理器产品日益增多,MOS大规模集成电路已广泛用于通信，特别是电话通信、图像和语音识别等新的领域。
电路形式和基本结构 图1为基本MOS反相器的电路形式。图2是与图1a对应的增强型 MOS场效应晶体管负载反相器的剖面图和俯示版图。反相器由T1和T2两个MOS场效应晶体管组成。T1用作负载,称为负载管,T2称为工作管。通常,后级工作管的栅电容连同PN结寄生电容,就是前级的负载。当T2的输入端电压(Ui)小于其阈电压()即Ui＜-δ1(δ为必要的余量)时，T2截止,电源通过T1向负载电容充电，使输出电压U0达到高电平(UDD-)(UDD为电源电压)。这一高电平应比工作管的阈电压大δ2以上，即U0＝UDD-＞+δ2。 当T2输入电平为高电平(Ui＞+δ2)时,T2导通，使负载电容对地放电,U0降低,其最后数值决定于T2与T1的导通电阻之比。除工作电压因素外,T2、T1导通电阻之比取决于导电因子β之比。而β正比于 MOS场效应管的宽长比(W/L)、栅电容C和迁移率μ,β=μC(W/L)。因此,适当选择(W/L)1和(W/L)2的比例，就可以在Ui为高电平时使U0为低电平(U0＜-δ1)，从而实现信号的反相和放大。这种反相器与 MOS场效应晶体管开关相结合，便能组成各种MOS数字集成电路。
依反相器负载器件的不同，MOS电路可分为图1中的几种形式。图1 a是以增强型MOS场效应晶体管为负载管的增强型-增强型电路;图1b的负载管是耗尽型MOS场效应晶体管,通过沟道区离子注入掺杂使UT＜0而形成的。这种电路称为增强型与耗尽型金属-氧化物-半导体集成电路；图1c以电阻为负载,称为增强型-电阻电路；图1d的反相器由两只导电类型相反的即PMOS和NMOS场效应晶体管所组成,推挽工作,称为CMOS电路。增强型-增强型电路的优点是工艺简单,但工作速度和功率消耗的综合指标即功耗与延时乘积最差，逻辑摆幅也低(最高电平为UDD－)。增强型－耗尽型(D-MOS)电路的D负载管,在零栅压下仍然导通，因而逻辑摆幅大（最高电平为UDD）。按图1b连接时,D-MOS场效应晶体管对负载的充电接近恒流，因而充电速度快，电路可以达到很高的工作速度，有较低的功耗与延时乘积。此外,经适当设计,增强型-耗尽型反相器的宽长比(W/L)常可取为1/1左右,对缩小版图面积有利。增强型－耗尽型电路的问题是工艺较复杂,在超大规模集成电路中,其直流功耗嫌太大。增强型-电阻电路的速度也较快,逻辑摆幅也大。利用离子注入到SiO2层上的多晶硅条，已能制作各种阻值的电阻，只占用很小的硅片面积。因此，这种电路形式已在不少场合得到有效应用。CMOS反相器中的两只 MOS场效应晶体管随不同的输入电平总是一只导通,另一只截止,没有直流导通电流(只是在状态变化的瞬间有电流导通)。因此，CMOS电路是功耗最低的电路。为了将两种导电类型不同的MOS场效应晶体管做在一个芯片上,CMOS须为其中一种管子制作专门的隔离阱（利用扩散或离子注入进行掺杂）。一般说，CMOS电路工艺比较复杂，面积也比较大。在面积太小时，还会出现所谓的闸锁效应（见互补金属-氧化物-半导体集成电路）。在超大规模集成电路的发展中,降低功耗密度是首要问题,所以CMOS在超大规模集成电路中是一种主要的技术。实际上，由于工艺技术的不断发展，人们正在研究将上述几种电路形式（包括双极电路）协调兼容在一个芯片上的技术，这使大规模集成电路的设计有更大的灵活性和更高的性能价格比。
在静态工作条件下，为了保证输出有良好的低电平，T1和T2的宽长应有一定的比值(CMOS除外)。因此，这种MOS电路被称为有比电路。如果负载管的栅电压或漏电压用时钟脉冲馈电，利用负载电容的电荷存储性质，此馈电脉冲可与输入脉冲Ui在不同的时间交错馈入。这时的MOS电路便处于动态工作状态，称为动态MOS电路。动态MOS电路的电流通导时间短,一般没有T1和T2之间宽长比的要求,称为无比电路。MOS动态电路具有面积小、功耗低等优点，而且可利用各种自举形式提高输出电平，可大大加快电路的工作速度。因此,在MOS大规模集成电路设计中,动态设计十分重要。如果与静态电路相结合,可大大提高MOS大规模集成电路的性能。
从结构或工艺技术来说,MOS集成电路大体上可以分为PMOS、NMOS、和CMOS三类。各类中又有铝栅、硅栅等的区别。超大规模集成电路技术已开始采用高熔点金属或其硅化物制作栅，但实质上仍可把他们归到硅栅技术一类。由于硅栅NMOS在速度、面积各方面都远优于铝栅PMOS结构，除少数小型或廉价的MOS集成电路以外,已很少采用PMOS和铝栅技术。对硅栅（或高熔点金属及其硅化物栅）NMOS，依照尺寸按比例缩小的原则，随着器件尺寸的适当缩小，每级门的延时与功耗乘积会大大降低，即性能可以大大提高。作为尺寸缩小的直接后果，集成度也会相应提高。向这个方向发展的 MOS集成电路技术以及相应的结构，称为HMOS（见高性能金属-氧化物-半导体集成电路。CMOS技术可以分为P阱和N阱两种（图3a，b）。这两种 CMOS结构各有长处。过去，由于CMOS产品是从PMOS发展而来的,故P阱居多。但N阱CMOS发展很快。
除了上述几种常用的MOS集成电路结构外,还有一些特殊的MOS集成电路结构形式。其中,比较成功的有：①DMOS（见双扩散金属-氧化物-半导体集成电路）或 DSA MOS（扩散自对准MOS结构,图4a）。它利用侧向扩散效应，使自对准的沟道长达微米和亚微米水平，从而获得很高的电路工作速度；②VMOS或UMOS,即V型槽或U型槽MOS结构(见V型槽金属-氧化物-半导体集成电路)。它是利用特定晶向Si晶体的择优腐蚀特性，把MOS场效应管做在V型或U型槽内,而利用扩散、离子注入或外延方法控制其沟道长度（图4b）,使其达到亚微米水平，以实现高速度。V型或U型槽对缩小芯片面积也有一定的意义；③以蓝宝石为衬底的CMOS结构称为SOS CMOS。在绝缘衬底上制作CMOS电路，不需要制作专门的隔离阱，PN结面积和寄生电容也很小。因此，这种结构不仅功耗低，而且速度快，抗辐照性能很好。这种集成电路技术在军事上具有重要的意义。
工艺和特点 以硅栅NMOS为例,MOS集成电路的有源元件是MOS场效应管,无源元件是MOS电容和PN结电容,有时还有多晶硅电阻。元件间的隔离利用厚氧化层（称为场氧化层）；元件间的互连线同时使用扩散(或注入)层、多晶硅层和最后的金属化层。它结构简单，元件的工艺又都是兼容的,工艺也不复杂。图5是 NMOS电路主要工艺流程示意图。在切割、研磨和抛光完毕的P型(100)硅衬底上，用等平面工艺（衬底薄氧化后生长Si3N4掩蔽层,光刻出场氧区，进行B+硼场注入,然后在场区生长厚度约1微米左右的场氧化层）生长场氧化层，把非场区，即制作元件的区间刻蚀出来，进行MOS场效应管和MOS电容的栅氧化（此前，如需要进行栅区注入，应增加相应的光刻和注入工艺）;刻出多晶硅与扩散区相接的接触孔(埋孔);进行掺杂（一般掺磷），多晶硅化学汽相淀积(CVD);如需要多晶硅电阻，则要利用光刻掩蔽对多晶硅电阻区单独进行特定剂量的离子注入(用磷和砷);光刻多晶硅,刻出栅和多晶硅连线，并暴露出需要掺杂或注入的区域（包括源、漏衬底内的连线区）；进行扩散和离子注入（必要时，加入光刻限定扩散和注入区）；短时间低温热氧化后，用化学汽相淀积工艺淀积磷硅玻璃，光刻出铝层与多晶硅、扩散区、注入区的接触孔；短时间加温，使磷硅玻璃体稍有流动，以钝化台阶陡度,后蒸发铝层,再合金化、光刻铝布线和压焊块，最后进行中间测试、压焊、封装、成品测试。对于复杂的 MOS大规模集成电路中间还有一些工艺步骤，一般需要经过8、9道乃至10道以上的光刻步骤。MOS大规模集成电路工艺,实质上就是一般的硅平面工艺，只是增加了以下一些工艺步骤：①多晶硅技术；②等平面场氧化技术，提高连线的可靠性，保证有效的场隔离；③利用定剂量的离子注入技术调整MOS场效应管的阈电压。
与双极型集成电路相比，MOS集成电路的特点是:①结构简单,隔离方便（除CMOS外，有PN结自动隔离,只须用较厚的下面注有浓硼的场氧化层即可实现有效隔离）；② MOS场效应管为双向器件（源、漏结构对称）又有多晶硅作为一层布线层。布线方便，设计灵活性高，版图占面积小；③MOS电路的功耗低于双极型电路,与双极型集成电路相比,更适宜于高密度集成；④MOS集成电路具有动态工作独特的能力；⑤MOS场效应管是多子器件,其温度特性优于双极型集成电路。但是,硅MOS集成电路的速度还比不上ECL等高速双极集成电路。一般认为，MOS集成电路的功耗低，集成度高，宜于数字应用；双极型集成电路则适用于高速数字和模拟方面。
发展方向 MOS集成电路的主要发展方向有:①进一步提高集成密度和电路复杂性，即由集成电路向集成系统发展。②超高速化和微功耗化。军事应用已对超高速集成电路提出迫切的要求，许多国家大力发展超高速集成电路，主要是砷化镓大规模集成电路。由于在砷化镓、磷化铟等半导体中业已发现，当沟道缩短到亚微米以下时，会出现饱和速度过冲及冲击式的电输运现象，并利用分子束外延制成高电子迁移率晶体管等高速集成器件，为 MOS集成电路的超高速化开辟了新的前景。③研究三维集成技术和研制以新型器件为基础的集成电路。集成系统日趋复杂，连线所占的芯片面积越来越大，连线的设计也越来越困难和费时,所以具有多层元件布局的MOS大规模集成结构受到很大重视。
参考书目
清华大学微电子学研究所编:《MOS大规模集成技术》，科学出版社，北京，1984。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。