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1)  wafer topography
硅片表面形貌
2)  surface profile
表面形貌
1.
Application of Michelson micro-interference principle in the surface profile measuring;
迈克尔逊干涉原理在表面形貌测量中的应用研究
2.
Some evaluating theories on surface profile, such as fractal, motif, special function parameters are discussed and the developing tendency of roughness theory is indicated.
简述了表面粗糙度理论与标准的历史 ,分析了精密加工表面性能评价对表面粗糙度理论及参数的新要求 ,对表面形貌评定的分形法、Motif法、特定功能参数集法进行了论述 ,指出了表面粗糙度理论的发展趋
3.
Research has been done on the measurement of surface profile using the laser triangulation method.
对激光三角测量法应用于表面形貌的检测进行研究。
3)  surface morphology
表面形貌
1.
Study of surface morphology of DC Arc Plasma Jet CVD free-standing diamond films;
DC Arc Plasma Jet CVD自支撑金刚石膜表面形貌的研究
2.
The evolution of crystalline orientation and surface morphology of annealed thin tungsten films;
金属W薄膜晶体取向与表面形貌
3.
Effects of RF-power and temperature on surface morphology and microstructure of a-C∶F∶H thin films;
功率和温度对a-C:F:H膜表面形貌和结构的影响
4)  morphology [英][mɔ:'fɔlədʒi]  [美][mɔr'fɑlədʒɪ]
表面形貌
1.
The factors affecting the morphology and the encapsulation efficiency of the microcapsules were investigated,and the drug loading was also determined.
采用原位聚合法以脲醛树脂为壁材制备了毒死蜱微胶囊,考察了制备过程中微胶囊表面形貌、包封率的影响因素,并测定了微胶囊的载药率。
2.
The effects of electrodeposition parameters,such as morphology of membrane,temperature,thickness of the coating are investigated.
主要对AlCl3和LiAlH4溶于四氢呋喃有机体系镀层的表面形貌、电镀参数、温度以及镀层的厚度进行了研究。
3.
The effects of the composition and technological conditions of electroless tin preplating bath on the thickness and morphology of the coatings are investigated.
研究了化学镀锡预镀溶液的组成和工艺条件对镀层厚度和表面形貌的影响。
5)  surface appearance
表面形貌
1.
Pulse electrochemical finishing surface appearance and wear by friction;
脉冲电化学加工表面形貌与摩擦磨损
2.
The surface appearance and corrosion products of Zn-Mg alloy coatings with different content of Mg were analyzed by SEM and XRD.
采用扫描电镜和X射线粉末衍射,对含镁量不同的热镀锌镁合金镀层表面形貌和腐蚀产物进行了分析。
3.
The surface appearance is analyzed by SEM(Scanning electron microscopy).
采用显微硬度计测试了薄膜的显微硬度,利用扫描电镜测试了膜的表面形貌。
6)  Surface Topography
表面形貌
1.
Analysis on Surface Topography Generation in Micro-milling;
微细铣削表面形貌形成分析
2.
Release features and surface topography of coated urea with rosin and tung oil as film-forming materials;
以松香和桐油为成膜物质的包膜尿素的释放特性和表面形貌
3.
Investigation on fractal characterization of surface topography;
表面形貌的分形特征研究
补充资料:表面形貌
      摩擦副表面的几何形态和性质。当相关的工作表面间存在薄的润滑油膜时,工作表面靠近会使两表面的峰谷阻遏或疏导润滑油的流动,这将影响摩擦力和油膜厚度的计算结果。两表面再靠近,则两面峰顶发生接触或碰撞,由此而产生的摩擦热不仅对油有热效应,而且会影响边界膜的形成和破裂。至于接触着的摩擦副表面的磨合和磨损过程,当然更与表面的原始形貌和磨痕形貌有关。表面形貌对于研究摩擦学问题十分重要,但直到20世纪60年代人们才逐渐认识,到70年代后期才将它与表面损伤联系起来研究。
  
  表面形貌的表征方式  真实表面属于三维几何形态,可用直角坐标系(图1)描述。xy为工作表面,z为表面高度坐标轴。某一截面的表面轮廓平均高度线(中线)为x坐标轴(图2),对高度均值有多种表达方法,如轮廓算术平均值和均方根值,式中L是取样长度。它们是表征z方向尺寸的一维参数。表征轮廓起伏的间距和频率,则是x方向尺寸的一维参数,如轮廓曲线在中线上相邻交点间的截距均值S m或中线交点密度均值。表征截面轮廓的二维形貌,需要用z和x两个方向的参数组成。但为了表征轮廓的变化差异,还需要用更多的参数描述。如果表面形貌分布属于正态型的,若选配合理仅用 3个一维参数组即足以表达。P.R.纳雅克根据随机理论,推荐用σ、和3个参数。其中是单位长度内轮廓曲线跨越中线次数的均值(即中线交点密度);是单位长度内峰顶数目的均值(即峰顶密度)。
  
  对于摩擦学问题,不仅需要了解轮廓高度变化规律,还需要了解轮廓分布不对称于中线的程度、轮廓各点的斜率均值、平均峰顶曲率和平均峰高等。
  
  表面形貌的综合效应  对于摩擦学问题,必须考虑组成摩擦副的两个表面的综合效应。对于真实(考虑粗糙度效应的)表面的接触和摩擦磨损问题,不仅要研究干摩擦工作情况,更应考虑界面间有润滑剂或各种表面膜存在的工况。
  
  ① 表征油膜厚薄常用无量纲参数膜厚比=h/σ。式中h是油膜厚度;是综合粗糙度。存在润滑膜的摩擦副,>3属于完全弹性流体动压润滑状态,由油膜承担绝大部分载荷,不会粘着。<1属于边界润滑状态,容易粘着,即使发热不大也可能发生粘着。1≤≤3,属于部分弹性流体动压润滑状态,表面起伏会影响润滑油的流动,可能发生粘着。
  
  ② 接触表面峰顶碰撞,如为塑性变形,可能会导致粘着。判别变形是否进入塑性,可用塑性指数作为依据。峰顶物理模型若取成球面,根据弹塑性理论可导出
  式中E′是峰顶材料的综合弹性模量 其中E1和E 2是组成摩擦副两零件的材料弹性模量,v1和v2是它们的泊松比,H 表示峰顶材料的布氏硬底,σp是平均峰高(平均峰顶位置高度的均方根植),r是平均峰顶的曲率半径。
  

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参考词条