1) micromechanical Silicon oscillating accelerometer
硅微振梁式加速度传感器
2) resonant microaccelerometer
谐振式微加速度传感器
1.
FEA(finite element analysis) is used to evaluate a novel designed resonant microaccelerometer.
有限元分析用来评估一种新颖的谐振微加速度传感器,仔细分析新结构的几个主要振动模态,优化结构参数,证实这种硅基谐振式微加速度传感器的灵敏度高于1 000 Hz/gn。
3) silicon micromachined accelerometer
硅微机械加速度传感器
1.
This paper presents a novel silicon micromachined accelerometer with sidewall-diffusion-pizeoresistors.
给出了一种新型的侧面扩散电阻的硅微机械加速度传感器的设计和制造方法。
2.
The present work summarizes the structure and dynamic model of a high g shock Silicon micromachined accelerometer.
给出一种测量高g值冲击加速度的硅微机械加速度传感器的结构和动力学模型 ,此传感器为整体式悬臂梁结构 ,采用硅微机械加工技术制作 ,便于封装和大批量低成本制造。
4) micro silicon accelerometer
微硅加速度传感器
1.
A kind of neural networks compensatio n method is proposed in which genetic algorithm and neural networks are mixed for micro silicon accelerometer.
对遗传算法的编码方法、交换和变异操作做了改进 ,提出了一种融合改进遗传算法的FLNN用于微硅加速度传感器动态性能补偿的新方法 。
5) silicon capacitive accelerometer
微硅电容加速度传感器
1.
This paper aims at designing a relaxation oscillator which is used in the readout circuits for silicon capacitive accelerometers with CMOS process.
采用CMOS工艺设计出应用在微硅电容加速度传感器单片测试电路中的弛张振荡器即是本文的主要研究目的。
6) thermally driven resonant microaccelerometer
电热驱动谐振式微加速度传感器
补充资料：振梁式传感器
以弹性梁为敏感元件的谐振式传感器。振梁的固有振动频率随它两端所受的力而变化，通过相应的测量电路就可获得与被测力成一定关系的频率信号。振梁一般连接于弹性受力机构上以感受被测压力。振梁式传感器用于测量静态或缓变压力。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条