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1)  shallow trench isolation(STI)
浅沟槽隔离(STI)
2)  techniques in shallow trench(STI)
浅沟隔离技术(STI)
3)  DSTI
浅沟槽隔离
1.
The most applied CMP technology is DSTI CMP and CeO2 slurry is most popularin DSTI ma nufacturing, but the disad vantage of this type slurry is polishing time longerand reduce tool’s available time.
化学机械抛光工艺中应用较为广泛的是浅沟槽隔离层的抛光，新兴的工业生产中多采用二氧化铈研磨浆，但其研磨的工艺时间较长，大大减少了机台的利用率。
4)  isolation grooves
隔离沟槽
1.
The reasonable size of isolation grooves on the top surface of AlGaInP-LED arrays is analysed.
分析了发光二极管阵列上隔离沟槽的理想尺寸。
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5)  trench isolation
沟槽隔离
1.
The results show that RC-GCT structure with n buffer layer,transparent anode and trench isolation can obtain the better static and dynamic characteri.
通过对门极换流晶闸管(GCT)关键技术的研究,提出了一种沟槽隔离的逆导型GCT结构。
6)  shallow-trench isolation
浅槽隔离
补充资料：水沟槽
水沟槽　　家具面板与边抹攒合时，面板与边抹间形成一周约l厘米左右的凹槽，以免面板伸缩开裂。凹槽俗称“水沟槽”。现在硬木家具的桌面、炕几面等大多采用水沟槽做法。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
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