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1)  digital capacitance micro-displacement sensor
电容式微位移传感器
2)  Capacitive displacement sensor
电容式位移传感器
3)  capacitive angular displacement transducer
电容式角位移传感器
4)  capacitive displacement sensor
电容位移传感器
1.
Structural error correction and simulation of capacitive displacement sensor for segmented mirrors;
应用在拼接镜面中的电容位移传感器的结构性误差分析及校正
2.
As a result of capacitive displacement sensor with high resolution, high-frequency response, enabling non-contact measurement, etc.
由于电容位移传感器信号转换和处理电路存在模拟环节,因此其传感特性易寄生电容等寄生参数和温度的影响。
5)  capacitive-displacement transducer
电容-位移传感器
6)  micro-capacitive sensor
微电容式传感器
补充资料:位移传感器
      把位移转换为电量的传感器。传感器的作用是把各种被测物理量转换为电量。在这种转换过程中有许多物理量(例如压力、流量、加速度等)常常需要先变换为位移,然后再将位移变换成电量。因此位移传感器是一类重要的基本传感器。在生产过程中,位移的测量一般分为测量实物尺寸和机械位移两种。机械位移包括线位移和角位移。按被测变量变换的形式不同,位移传感器可分为模拟式和数字式两种。模拟式又可分为物性型(如自发电式)和结构型两种。常用位移传感器以模拟式结构型居多,包括电位器式位移传感器、电感式位移传感器(见电感式传感器)、自整角机、电容式位移传感器(见电容式传感器)、电涡流式位移传感器(见电涡流式传感器)、霍耳式位移传感器等。数字式位移传感器的一个重要优点是便于将信号直接送入计算机系统(见数字式传感器)。这种传感器发展迅速,应用日益广泛(见感应同步器、码盘、光栅式传感器、磁栅式传感器)。
  
  电位器式位移传感器  它通过电位器元件将机械位移转换成与之成线性或任意函数关系的电阻或电压输出。普通直线电位器和圆形电位器都可分别用作直线位移和角位移传感器。但是,为实现测量位移目的而设计的电位器,要求在位移变化和电阻变化之间有一个确定关系。图1中的电位器式位移传感器的可动电刷与被测物体相连。物体的位移引起电位器移动端的电阻变化。阻值的变化量反映了位移的量值,阻值的增加还是减小则表明了位移的方向。通常在电位器上通以电源电压,以把电阻变化转换为电压输出。线绕式电位器由于其电刷移动时电阻以匝电阻为阶梯而变化,其输出特性亦呈阶梯形。如果这种位移传感器在伺服系统中用作位移反馈元件,则过大的阶跃电压会引起系统振荡。因此在电位器的制作中应尽量减小每匝的电阻值。电位器式传感器的另一个主要缺点是易磨损。它的优点是:结构简单,输出信号大,使用方便,价格低廉。
  
  霍耳式位移传感器  它的测量原理是保持霍耳元件(见半导体磁敏元件)的激励电流不变,并使其在一个梯度均匀的磁场中移动,则所移动的位移正比于输出的霍耳电势。磁场梯度越大,灵敏度越高;梯度变化越均匀,霍耳电势与位移的关系越接近于线性。图2中是三种产生梯度磁场的磁系统:a系统的线性范围窄,位移Z=0时,霍耳电势≠0;b系统当Z<2毫米时具有良好的线性,Z=0时,霍耳电势=0;c系统的灵敏度高,测量范围小于1毫米。图中N、S分别表示正、负磁极。霍耳式位移传感器的惯性小、频响高、工作可靠、寿命长,因此常用于将各种非电量转换成位移后再进行测量的场合。
  
  光电式位移传感器  它根据被测对象阻挡光通量的多少来测量对象的位移或几何尺寸。特点是属于非接触式测量,并可进行连续测量。光电式位移传感器常用于连续测量线材直径或在带材边缘位置控制系统中用作边缘位置传感器。
  
  参考书目
   张是勉、杨树智编著:《自动检测》,科学出版社,北京,1987。
  

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