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1)  proximity exposure
接近式曝光
1.
A x-y 2 dimension precision motion stage used in proximity exposure system was developed to meet the demand of manufacturing micro-optical elements by mask moving exposure technique.
为满足掩模移动曝光技术制作微光学元件的要求,研制了接近式曝光系统中使用的x-y二维精密移动工件台。
2.
The history and recent advances of this technology are reviewed, especially emphasis on important technical accomplishments and challenges in X ray sources, proximity exposure and all reflective projection lithography.
重点讨论了在X射线源、接近式曝光和全反射投影曝光等方面取得的成就与存在的问题。
2)  far contact printer
接近式曝光装置
3)  near contact printer
接近式曝光机
4)  proximity exposure method
接近式曝光法
5)  proximity printer
接近式对准曝光器
6)  uv proximity printer
紫外线接近式曝光装置
补充资料:接近式光刻
分子式:
CAS号:

性质: 又称非接触式光刻。使涂敷在基片上的光敏材料,经受穿过与其接近但不接触的光学掩模版的光辐照曝光,从而复印出光学掩模版图形的方法。

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参考词条