1) phase shift interferometry
相移干涉计量
1.
The method and realization of the phase modulation in phase shift interferometry are discussed.
讨论了相移干涉计量中的相位调制方法及实现方法，进而提出并研制了适于连续相移干涉计量的外同步控制相位调制系统，实验结果表明其线性度优于３％，该系统已成功地用于自行研制的２ＤＳＲＯＰ１型高精度表面粗糙度轮廓仪中，仪器示值误差小于１６％，示值变动性小于３７％。
2) phase-shifting interferometry
相移干涉
1.
Research on phase-shifting interferometry contrast three-dimensional topography of ultra precision surface
超精表面三维形貌相移干涉检测实验研究
2.
It employs two optical nondestructive methods:computer microvision for in-plane motion measurement and phase-shifting interferometry for out-of-plane motion mesasurement.
它采用了2种光学无损测量方法:计算机微视觉方法用于面内运动测量;相移干涉方法用于离面运动测量。
4) Interferometry
[,intəfiə'rɔmitri]
干涉计量
1.
Digital Phase-Shifting Speckle Pattern Interferometry System;
相移数字散斑干涉计量系统
2.
Algorithm Analysis of Quasi-heterodyne Interferometry and Its Applications;
准外差干涉计量算法分析及应用
5) interference metrology
干涉计量
1.
Phase shifting is the key technique in phase shifting interference metrology and it greatly effects the measuring precision even results in a failure.
相移器是相移干涉计量中的关键技术，对测量精度有很大的影响，关系到相移技术的成败。
6) phase-shifting interferometry
相移干涉术
1.
Phase-shifting interferometry and generalized digital phase-shifting interferometry;
相移干涉术及广义相移数字全息干涉术
2.
Optical experimental verification of two-step generalized phase-shifting interferometry
两步广义相移干涉术的光学实验验证
补充资料：射频和微波相移计量
射频和微波相移计量
RF and microwave phase-shift measurement
ShePinhe忱ibo xiangyi」iliang射频和微波相移计t(RF’ and而c~pha鱿一s撇~~ni)对射频和微波相移进行准确测量，并保证其量值统一的活动。 通常所谓的相移测量是指两个同频率的信号之间的相位差或相位移的测量，亦即网络相位移的测量。计量单位是耐、(o)、(’)、(”)。Ilad二(l8()j二)o;10二印‘;1‘二6以口。 常用移相器能提供固定或可变相移量的无耗二端口网络，称为固定或可变移相器。原始的移相器是精密的同轴或波导传输线。常用的射频和微波移相器如下:①伸缩线性移相器。通过改变传输线的机械长度来改变电长度，进而计算出相移量。②移动介质片型移相器。由空波导、薄介质片和传动机构组成，是波导系统中结构最简单和最常用的移相器。③旋转介质片型移相器。由三段波导组成，中间是可旋转的圆波导，两端为固定的方圆过渡波导，其相移量可达721护，分辨率为0.工。，测量不确定度可达0.矛。因其工作频带较宽，分辨率和重复性较好，常用作高频和微波相移传递标准。④反射型移相器。由定向拐合器和滑动短路器组成。人射波由定向藕合器主臂输人，输出信号经短路器反射后由定向祸合器旁臂翰出。当滑动短路器位置改变时，输出信号的相位就发生变化。理想情况下，相移的大小取决于波导波长和短路器的位移。采用精密调配反射计，相移的测量不确定度可达0.1“。⑤电控移相器。主要有二极管电控移相器和铁氧体电控移相器，可步进或连续可调。 相移测童方法主要包括: ①射频比较法。将被测移相器的相移与标准移相器的相移在同一频率上进行比较求得未知相移。标准移相器通常采用旋转介质片型移相器或反射型移相器。比较系统大多采用并联双通道系统，被侧移相器和标准移相器通道分别称为测量通道和参考通道。两个相移信号在非线性元件中组合。采用不同的非线性组合器件和不同的调制方式，将得到不同的射频比较系统:a.两个通道都不调制而采用连续波;b.两个通道采用同一个调幅信号源进行调制;c.被测移相器通道不进行调制，称为载波通道，但对标准移相器通道进行幅度调制，称为副载波通道。 ②频率变换法。通过外差变频或取样变频使待测信号转换成低频，而转换后得到的低频信号保留了待测信号的相位信息，这样就把射频或微波的相移测量变成了低频相移的测t。射频比较法需要采用准确度不高的射频或微波标准移相器，且其工作频带窄，而频率变换法克服了射频比较法的这些缺点，准确度大大提高。
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参考词条