1) phase shifting interferometry
相移干涉仪
1.
Phase shift miscalibration and detector nonlinearity are two main sources of error in phase shifting interferometry.
介绍了到目前为止的几种任意步距步进相移算法，并针对相移干涉仪的两种主要误差———移相误差和探测器非线性误差进行了计算仿真，进而比较分析了它们对这这些误差的抑制能力，其结果可为实际应用合理地选择算法提供理论依据。
2.
A new method of phase-stepping by changing the temperature of Laser Diode(LD)In phase shifting interferometry(PSI) has been presented.
在理论分析和实验研究的基础上建立了半导体激光器温控调频相移干涉仪系统，该相移干涉体积小，结构简单，且工作可靠。
2) phase-shifting interferometer
移相干涉仪
1.
Advances in vibration cancellation phase-shifting interferometer;
移相干涉仪的抗振技术研究进展
2.
In modern digital phase-shifting interferometry (PSI), the phase-shifting error of piezoelectric transducer (PZT) optical phase shifter, which is the basic device of phase-shifting interferometer, directly effects measurement accuracy during wavefront phase unwrapping with phase-shifting interferograms.
压电晶体 (PZT)光学移相器作为移相干涉仪 (PSI)的关键部件 ,其移相误差直接影响被测波面的相位复原精度。
3.
However, the external micro-vibrations are often the dominant error sources in phase-shifting interferometers since its sensitivity.
移相干涉术(PSI)是一种高精度、高灵敏度、非接触式光学测试方法，易受环境振动的影响，环境振动是移相干涉仪测量误差的主要来源之一。
3) phase-shifting interferometer
移相式干涉仪
1.
Application of phase-shifting interferometer for angle test of CCRs;
移相式干涉仪在锥体棱镜角度测试中的应用
4) phase shifting adapter
干涉仪移相器
1.
A self-calibrating method was proposed to calibrate the nonlinear of phase shifting adapter (PSA) consisting of three piezoelectric ceramics.
根据傅里叶变换原理 ,提出了一种对由三个压电陶瓷堆 (PZT)组成的干涉仪移相器进行非线性及平行性校正与标定的方法。
5) Optical phase-shifting interferometer
光学移相干涉仪
1.
Critical Technique Study of Intelligent Vibration Isolation Platform for Optical Phase-Shifting Interferometer;
光学移相干涉仪智能抗振平台关键技术研究
6) phase-shifting interferometry
相移干涉
1.
Research on phase-shifting interferometry contrast three-dimensional topography of ultra precision surface
超精表面三维形貌相移干涉检测实验研究
2.
It employs two optical nondestructive methods:computer microvision for in-plane motion measurement and phase-shifting interferometry for out-of-plane motion mesasurement.
它采用了2种光学无损测量方法:计算机微视觉方法用于面内运动测量;相移干涉方法用于离面运动测量。
补充资料：波面干涉仪
用以检测光学元件的面形、光学镜头的波面像差以及光学材料均匀性等的一种精密仪器。其测量精度一般为λ/10～λ/100, λ为检测用光源的平均波长。常用的波面干涉仪为泰曼干涉仪和斐索干涉仪。
泰曼干涉仪由两个准直透镜、分束器、标准平板以及标准球面镜所组成。单色光经小孔、光源准直透镜后被分束器分解成参考光束和检测光束。二者分别由标准平面和检测系统自准返回后，再经分束器，通过观测准直透镜重合，形成等厚干涉条纹，如图1所示。根据条纹的形状来判断被测件的光学质量。
用泰曼干涉仪检测平板或棱镜的表面面形及其均匀性，和检测无限或有限共轭距镜头的波面像差，只需在检测光路中，用一标准的平面或球面反射镜，或再附加一负透镜组，以形成平面的自准检测光束即可，分别如图1a、图1b、图1c、图1d、图1e所示。
斐索干涉仪有平面的和球面的两种，前者由分束器、准直物镜和标准平面所组成，如图2b；后者由分束器、有限共轭距物镜和标准球面所组成，如图2b。单色光束在标准平面或标准球面上，部分反射为参考光束；部分透射并通过被测件的，为检测光束。检测光束自准返回，与参考光束重合，形成等厚干涉条纹。
用斐索平面干涉仪可以检测平板或棱镜的表面面形及其均匀性，如图2a、图2b、图2c所示。用斐索球面干涉仪可以检测球面面形和其曲率半径，后者的测量精度约 1??m；也可以检测无限、有限共轭距镜头的波面像差，如图2d所示。
除了上述两种常用的干涉仪外，还有横向、径向剪切干涉仪，这种干涉仪没有参考波面。横向剪切干涉仪把被测光束分解成两个相同的，但相互横移的相干光束。径向剪切干涉仪则是把被测光束分解成波面面形相似，但横截面大小不相同的两相干光束。干涉出现在两相干光束的重叠区域内。两者分别如图3、图4所示。该两种干涉仪有多种多样的形式，如平板式、棱镜式、透镜式、光栅式等。横向剪切干涉仪不能直接测得波面像差；径向剪切干涉仪系统误差稍大。虽然这两种干涉仪易于加工，但仍未能像泰曼干涉仪那样被广泛使用。
干涉图的分析，可用目视或照相，也可以在干涉仪上,配备光电探测器件和微处理机及终端系统,扫描、采样和分析干涉花样。称这种干涉仪为数字干涉仪。
泰曼干涉仪由两个准直透镜、分束器、标准平板以及标准球面镜所组成。单色光经小孔、光源准直透镜后被分束器分解成参考光束和检测光束。二者分别由标准平面和检测系统自准返回后，再经分束器，通过观测准直透镜重合，形成等厚干涉条纹，如图1所示。根据条纹的形状来判断被测件的光学质量。
用泰曼干涉仪检测平板或棱镜的表面面形及其均匀性，和检测无限或有限共轭距镜头的波面像差，只需在检测光路中，用一标准的平面或球面反射镜，或再附加一负透镜组，以形成平面的自准检测光束即可，分别如图1a、图1b、图1c、图1d、图1e所示。
斐索干涉仪有平面的和球面的两种，前者由分束器、准直物镜和标准平面所组成，如图2b；后者由分束器、有限共轭距物镜和标准球面所组成，如图2b。单色光束在标准平面或标准球面上，部分反射为参考光束；部分透射并通过被测件的，为检测光束。检测光束自准返回，与参考光束重合，形成等厚干涉条纹。
用斐索平面干涉仪可以检测平板或棱镜的表面面形及其均匀性，如图2a、图2b、图2c所示。用斐索球面干涉仪可以检测球面面形和其曲率半径，后者的测量精度约 1??m；也可以检测无限、有限共轭距镜头的波面像差，如图2d所示。
除了上述两种常用的干涉仪外，还有横向、径向剪切干涉仪，这种干涉仪没有参考波面。横向剪切干涉仪把被测光束分解成两个相同的，但相互横移的相干光束。径向剪切干涉仪则是把被测光束分解成波面面形相似，但横截面大小不相同的两相干光束。干涉出现在两相干光束的重叠区域内。两者分别如图3、图4所示。该两种干涉仪有多种多样的形式，如平板式、棱镜式、透镜式、光栅式等。横向剪切干涉仪不能直接测得波面像差；径向剪切干涉仪系统误差稍大。虽然这两种干涉仪易于加工，但仍未能像泰曼干涉仪那样被广泛使用。
干涉图的分析，可用目视或照相，也可以在干涉仪上,配备光电探测器件和微处理机及终端系统,扫描、采样和分析干涉花样。称这种干涉仪为数字干涉仪。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
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