1) boron-doped phospho-silicate glass (BPSG)
掺硼磷硅玻璃(BPSG)
2) BPSG
硼磷硅玻璃
1.
Analysis and Research Results of BPSG on Abnormal Problem;
硼磷硅玻璃缺陷分析与研究
2.
The borophosphosilicate glass(BPSG) layers as the filling coatings to silica-based planar lightwave circuits were obtained by using plasma enhanced chemical vapor deposition with SiH_4/N_2O and PH_3,B_2H_6.
利用等离子体增强化学气相沉积方法,在S iH4/N2O反应气体中掺入PH3和B2H6制备了用于硅基S iO2平面光波导的硼磷硅玻璃覆盖层。
3.
As an important inter-layer dielectric, BPSG thin films deposited by atmospheric pressure chemical vapor deposition (APCVD) were used widely in most wafer techniques.
BPSG(硼磷硅玻璃)薄膜作为一种重要的层间介质,在半导体集成电路中广泛使用。
3) borosilicate glass
硼硅玻璃
1.
Microstructure and properties of borosilicate glass coating for oxidation protection of C/SiC brake materials;
C/SiC刹车材料硼硅玻璃防氧化涂层的结构与性能
2.
Mechanisms of anodic bonding between borosilicate glass and silicon;
硼硅玻璃与硅阳极键合机理分析
3.
The mechanisms of anodic bonding between borosilicate glass and silicon;
硼硅玻璃与硅阳极键合界面形成机理分析
4) borosilicate glass
硅硼玻璃
1.
The wettability of borosilicate glass on Kovar with oxides of FeO and FeO+Fe3O4 respectively was studied as a function of holding time at 1000℃ by the sessile drop method.
采用座滴法研究硅硼玻璃在分别具有FeO和FeO+Fe3O4氧化膜的可伐合金表面1000℃保温不同时间的润湿规律。
5) SABPSG
次大气压硼磷硅玻璃
1.
With the excellent performance sub-atmospheric pressure boron phosphorus silicon glass (SABPSG) has been widely applied in the DRAM semiconductor manufacturing of 0.
次大气压硼磷硅玻璃(简称SABPSG)开始凭借其优良的性能被广泛应用于0。
6) PSG
磷硅玻璃
1.
Thermal desorption from phosphosilicate glass(PSG) film was investigated in this paper by using thermal desorption spectroscopy(TDS).
用热脱附谱 (TDS)研究H2 O在磷硅玻璃 (PSG)中被吸附的问题 。
补充资料：硼
| 硼 boron 一种化学元素 。化学符号 B，原子序数5，原子量10.811，属周期系ⅢA族，为非金属元素。古埃及、罗马、巴比伦都曾用硼砂制造玻璃。1808年法国J.-L.盖-吕萨克和L.- J.泰纳尔用金属钾还原硼酸 ，制得了单质硼。同年，英国H.戴维用电解硼酸的方法也制 得单质硼。硼在地壳中的含量为0.001％，在自然界都以化合物形式存在，最重要的矿物是硼砂（Na4B4O7·10H2O）。中国西藏黑河和青海柴达木盆地的盐湖蕴藏着大量硼砂。其他硼矿有方硼石（2Mg3B8O15·MgCl2）、白硼钙石(Ca2B6O11·3H2O)、硬硼钙石(Ca2B6O11·5H2O）、斜方硼砂（Na2B4O7·4H2O）、硅硼钙石〔CaBSiO4（OH）〕、斧石〔Ca3Al2BSi4O15（OH）7〕。 硼可分为无定形硼和晶形硼。无定形硼为棕色粉末，晶形硼是灰黑色固体，熔点2300℃，沸点2550℃，相对密度2.34，硬度仅次于金刚石，较脆。在室温下，晶形硼相当稳定，无定形硼则会被缓慢氧化，加热到700℃，会在氧气中燃烧，火焰呈绿色。在高温下，无定形硼与氯、溴、硫、氮发生反应，生成相应的化合物，与熔融的氢氧化钾反应，生成硼酸钾，不与盐酸和氢氟酸作用，与浓硝酸反应，生成硼酸，也可与王水反应，晶形硼的化学性质更不活泼，基本上不与盐酸、氢氟酸、硫酸作用。硼的氧化态为＋3，形成＋3价化合物。 硼的制法有：①用金属钠、钾、镁、铝还原氧化硼，可得无定形硼。②用金属钠还原三氯化硼。③用炭还原硼砂。④乙硼烷热分解。⑤电解熔融的氟硼酸钾。⑥氢还原法。将氢气和三溴化硼的混合气体通过加热到1100～1300℃的钽丝，被还原的硼在钽丝上形成片状或针状晶形硼，纯度可达99.999％ 。硼在高温时容易与氧气和氮气作用，在炼钢时用作除气剂。硼能吸收中子，但不产生高能的γ射线，所以硼钢可作反应堆的控制棒。硼纤维抗张强度大，与环氧树脂制成的复合材料用于飞机、导弹、火箭的制造。 |
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参考词条