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1)  sputtering/low energyion scattering spectroscopy
溅射/低能离子散射谱
2)  low energy ion scattering spectroscopy
低能离子散射谱
3)  sputtering ion energy spectrum
溅射离子能谱
4)  Low-energy ion beam sputtering
低能离子束溅射
5)  ion scattering spectroscopy
离子散射能谱
6)  ion scattering spectroscopy
离子散射能谱学
补充资料:离子散射能谱
分子式:
CAS号:

性质:又称ISS。用惰性气体离子束轰击固体表面,并在固定的散射角度上分析散射离子的能量分布得到的能谱。由此可了解表面原子的质量、原子数目或化学成分等。

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