1) phase-shifting point diffraction interferometer
移相式点衍射干涉仪
1.
Technical problems in phase-shifting point diffraction interferometer;
移相式点衍射干涉仪的几个关键技术
2.
The paper ultilized the phase-shifting point diffraction interferometer,which was designed and constructed for the purpose of developing wavefront measure.
本文以应用于极紫外光刻光学系统波像差检测中的移相式点衍射干涉仪为基础,对干涉仪中几个关键技术进行了讨论,并给出了相应的解决方法。
2) point diffraction interferometer
点衍射干涉仪
1.
The diameter of pinhole or fiber is a critical element that affects the precision of point diffraction interferometer (PDI).
针孔或光纤直径的大小是影响点衍射干涉仪检测精度的重要因素,在实际检测中须根据检测任务的精度要求来选择小孔的尺寸。
3) phase-shifting interferometer
移相式干涉仪
1.
Application of phase-shifting interferometer for angle test of CCRs;
移相式干涉仪在锥体棱镜角度测试中的应用
5) phase-shifting interferometer
移相干涉仪
1.
Advances in vibration cancellation phase-shifting interferometer;
移相干涉仪的抗振技术研究进展
2.
In modern digital phase-shifting interferometry (PSI), the phase-shifting error of piezoelectric transducer (PZT) optical phase shifter, which is the basic device of phase-shifting interferometer, directly effects measurement accuracy during wavefront phase unwrapping with phase-shifting interferograms.
压电晶体 (PZT)光学移相器作为移相干涉仪 (PSI)的关键部件 ,其移相误差直接影响被测波面的相位复原精度。
3.
However, the external micro-vibrations are often the dominant error sources in phase-shifting interferometers since its sensitivity.
移相干涉术(PSI)是一种高精度、高灵敏度、非接触式光学测试方法，易受环境振动的影响，环境振动是移相干涉仪测量误差的主要来源之一。
6) phase shifting interferometry
相移干涉仪
1.
Phase shift miscalibration and detector nonlinearity are two main sources of error in phase shifting interferometry.
介绍了到目前为止的几种任意步距步进相移算法，并针对相移干涉仪的两种主要误差———移相误差和探测器非线性误差进行了计算仿真，进而比较分析了它们对这这些误差的抑制能力，其结果可为实际应用合理地选择算法提供理论依据。
2.
A new method of phase-stepping by changing the temperature of Laser Diode(LD)In phase shifting interferometry(PSI) has been presented.
在理论分析和实验研究的基础上建立了半导体激光器温控调频相移干涉仪系统，该相移干涉体积小，结构简单，且工作可靠。
补充资料：闭式单点、双点压力机
| |||||||
主要参数内容 | 国际先进 | 国内先进 | 国内一般 | 国内落后 | 评定方法及说明 | ||
（一）加工精度 | 参照GB10924-89、GB10933-89、JB5200-91 | ||||||
1、滑块下平面对工作台上平面的平行度（mm） | 30%精度储备 | 20%精度储备 | 达到规定值 | 大于规定值 | |||
0.02+0.10/100×滑块下平面的被测长度 | |||||||
2、滑块行程对工作台上平面的垂直度 | 30%精度储备 | 20%精度储备 | 达到规定值 | 大于规定值 | |||
0.05+0.02/100×滑块行程长度 | |||||||
（二）结构性能 | |||||||
1、离合器、制动器接通率，当滑块行程次数≤16次/分时为70%，≤25次/分时为60%，≤45次/分时为50% | 大于规定值10% | 大于规定值 | 达到规定值 | 达不到规定值 | |||
2、液压超负荷保险装置、微调装置、吨位指示器 | 全部具有 | 全部具有 | 部分具有 | 没有 | |||
（三）噪声dB（A） | |||||||
1、公称力≤400kN | ≤85 | ≤87 | ≤88 | ＞88 | |||
2、公称力＞400kN | ≤87 | ≤88 | ≤90 | ＞90 | |||
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条