1) silica-aluminum nitride
氧化硅-氮化铝
3) Al/AlN/Si
铝/氮化铝/硅
4) aluminum oxynitride
氮氧化铝
1.
The synthesis of aluminum oxynitride(γAlON) powder by carbothermal reduction of aluminum oxide was studied.
研究了碳热还原氧化铝合成尖晶石型氮氧化铝（γＡｌＯＮ）粉末。
2.
The spinel aluminum oxynitride(AlON) is an important single-phase,stable solid solution ceramic of Al_2O_3-AlN system,and has become a quite potential new material with unique performances.
尖晶石型氮氧化铝(AlON)是Al_2O_3-AlN体系的一个重要的单相、稳定的的固溶体陶瓷,它以其独特的性能成为颇具潜力的新材料。
5) SiON
[英]['saiən] [美]['saɪən]
氮氧化硅
1.
During SiON hard mask layer wet removing process after polysilicon etching,hot phosphoric acid(H3PO4) easily induces surface particle.
在集成电路制造工艺中,附着在Si片表面的杂质颗粒一直是影响晶圆良率的重大因素,其中在栅极多晶硅刻蚀后的氮氧化硅(SiON)掩膜层湿法去除工艺中,所使用的热磷酸(H3PO4)湿法刻蚀尤其容易产生杂质颗粒。
6) Silicon oxynitride
氧氮化硅
补充资料：氮化硅晶须补强氮化铝陶瓷基复合材料
分子式：
CAS号：
性质：以氧化铝陶瓷为基体，氮化硅晶须为增强体的复合材料，是一种性能优异的耐高温结构陶瓷。加入氮化硅晶须，可使氧化铝陶瓷的强度、韧性、抗热震性等得到明显的改善。在氧化铝基体中，加入20%(质量)氮化铝晶须制得的复合材料基强度提高了约50%，断裂韧性KIC达到氧化铝基体的1.5倍。这种材料可用于机械受力及耐磨部件以及作为耐热、耐腐蚀部件。
CAS号：
性质：以氧化铝陶瓷为基体，氮化硅晶须为增强体的复合材料，是一种性能优异的耐高温结构陶瓷。加入氮化硅晶须，可使氧化铝陶瓷的强度、韧性、抗热震性等得到明显的改善。在氧化铝基体中，加入20%(质量)氮化铝晶须制得的复合材料基强度提高了约50%，断裂韧性KIC达到氧化铝基体的1.5倍。这种材料可用于机械受力及耐磨部件以及作为耐热、耐腐蚀部件。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条