1) (carbon) silicon (oxy)nitride
氮(碳/氧)化硅
2) SiCON
['sikɔn]
掺碳氮氧化硅
3) silicon oxynitride bonding silicon carbide
氧氮化硅结合碳化硅
1.
The corrosion behavior of silicon oxynitride bonding silicon carbide(Si_2N_2O/SiC) composite in molten pure magnesium and AZ91 magnesium alloy was investigated.
研究了氧氮化硅结合碳化硅(Si2N2O/SiC)材料在纯镁及AZ91镁合金液中的侵蚀行为。
4) carbon/silicon carbonitride
碳/碳氮化硅
5) SINCO
SINCO(硅氮碳氧)
6) SiON
[英]['saiən] [美]['saɪən]
氮氧化硅
1.
During SiON hard mask layer wet removing process after polysilicon etching,hot phosphoric acid(H3PO4) easily induces surface particle.
在集成电路制造工艺中,附着在Si片表面的杂质颗粒一直是影响晶圆良率的重大因素,其中在栅极多晶硅刻蚀后的氮氧化硅(SiON)掩膜层湿法去除工艺中,所使用的热磷酸(H3PO4)湿法刻蚀尤其容易产生杂质颗粒。
补充资料：二异丙氧基化双三甲基硅氧基化钛酸酯
CAS：18205-00-0
中文名称：二异丙氧基化双三甲基硅氧基化钛酸酯
英文名称：di-Isopropoxy-di-(trimethylsiloxy)titanate
中文名称：二异丙氧基化双三甲基硅氧基化钛酸酯
英文名称：di-Isopropoxy-di-(trimethylsiloxy)titanate
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条