1) polysilicon pressure sensor
多晶硅压力传感器
1.
This paper mainly discusses a micromachining technology used during the fabrication of the twin isle structure polysilicon pressure sensor.
详细讨论了双岛结构多晶硅压力传感器制作过程中的一种微机械加工技术 。
2.
Polysilicon pressure sensor s research and development widely promote its application.
多晶硅压力传感器的研究和开发拓宽了压力传感器的应用领域。
2) high-temperature polycrystalline stalline silicon pressure sensor
多晶硅高温压力传感器
4) Silicon Pressure Sensor
硅压力传感器
1.
To develop a wireless intracranial pressure monitor, a silicon pressure sensor was used as the sensing head.
采用硅压力传感器作为敏感元件 ,用双桥法实现温度补偿 ,通过电压 /频率变换将压力信号转换为音频频率信号并利用无线调频发射 /接收进行传输 ,由单片机控制进行定时采样、数字滤波、标度变换、报警判断、显示、打印以及串行数据发送等处理 。
2.
The paper describes that a silicon pressure sensor with plate graph CAD software design is carried out on IBM and its series of compatible microcomputers.
介绍在ＩＢＭ及其兼容系列微型机上，实现硅压力传感器版图ＣＡＤ软件的设计方法。
3.
Under the guide of Finite Element Analysis (FEA) theory, we analyzed and simulated a series of SOI single crystal silicon pressure sensor by using ANSYS software.
利用有限元分析方法、借助 ANSYS软件 ,对 SOI单晶硅压力传感器进行一系列的分析和计算机模拟 ,探讨了传感器应变膜在固定宽度或固定面积条件下、宽长比对理论输出的影响 ,以及应变膜厚度对理论输出的影响 ,给出了设计应变膜的优化方案 ;并对根据模拟结果首次制作的 SOI单晶硅压力传感器进行了测量 ,结果与理论值符合得较
6) Si micro piezoresistance pressure sensor
硅微压阻压力传感器
补充资料：差动变压器式压力传感器
由弹性敏感元件和差动变压器构成的压力传感器。它的弹性敏感元件作为受力机构，把被测压力转换成位移，再用差动变压器把位移转换为与被测压力成一定关系的电信号。差动变压器属于电感式传感器，所以差动变压器式压力传感器又称电感式压力传感器。利用弹性敏感元件的不同形式可制成多种用途的差动变压器式压力传感器。图a中是3种差动变压器式压力传感器的结构示意图。图a中的弹性敏感元件为弹簧管（见波登管），它的自由端与差动变压器的衔铁相连。当压力作用使弹簧管自由端移动时，衔铁随之移动，使差动变压器次级线圈的输出电压发生变化，再通过标定换算即能测出压力。图b中的弹性敏感元件为膜盒。在无压力作用时，接于膜盒自由面中心的衔铁位于差动变压器的中部，使输出电压为零。当压力输入膜盒后，自由面产生一正比于被测压力的位移，并带动衔铁在差动变压器的线圈中移动，从而使差动变压器有一正比于压力的电压输出。这种传感器适于测量微压力，可测量-4×104～6×104巴的压力,输出电压可达50毫伏。图c的弹性敏感元件为膜片。当高压流和低压流分别通过高压阀和低压阀进入高压室和低压室时，膜片在压力差作用下变形，向低压室移动，使连接其上的拉杆带动衔铁移动，从而使差动变压器输出与压差成一定关系的电压信号。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条