1) humidity sensing film
湿敏膜
1.
The technology of humidity sensing film of RF sputtering manufacture is introduced in this article, discussing the effect of substrate temperature, working gas, working pressure, discharge voltage and discharge time on feature of humidity sensing film.
本文介绍了 RF溅射制备湿度敏感膜技术 ,讨论了衬底温度、工作气体及压力、放电电压及时间对湿敏膜感湿特性的影响。
3) film humidity sensitive material
薄膜湿敏材料
4) humidity sensor of grafted film
接枝膜湿敏元件
5) humidity sensitive nano-film
阻-湿敏感纳米薄膜
6) humidity sensitivity
湿敏
1.
The measurement of humidity sensitivity and gas/alcoholic sensitivity (seven kinds of gases H2, CH4, CH2=CH2, CH3CH=CH2, CO, C6H6 and gaseous.
30),测试其阻-湿特性,从中获得了具有良好特性参数的湿敏陶瓷及其主要工艺条件(x=0。
2.
The effect of film thickness on the humidity sensitivity of MIS structure and the effects of film thickness on the photo and thermal sensitivities of the thin film resistor were also investigated.
5 mm、1 mm和2 mm的Ba1-xLaxNbyTi1–yO3薄膜,并探讨了薄膜厚度对MIS电容湿敏特性的影响以及薄膜厚度对薄膜电阻的光敏和热敏特性的影响。
补充资料：多孔湿敏陶瓷
分子式：
CAS号：
性质： 具有湿敏效应的多孔陶瓷材料。湿敏，即对空气或其他气体、液体和固体物质中所含水分敏感。利用材料的电阻、电容、或磁通量随湿度变化来检测空气或其他物质中的水分含量。按所测环境温度之不同，分为高湿型(相对湿度大于75％)、低湿型(相对湿度小于45％)和全湿型(相对湿度0～100％)三种类型。按主晶相结构分为(1)尖晶石型，如MgCr2O3-TiO2系，MgFe2O4-ZnFe2O4系，ZnCr2O4-LiZnVO4系等。(2)钙钛矿型，如CaTiO3，CaSnO3，SrTiO3，BaSnO3等。实际应用的多掺入镧部分替代钙、锶、钡。(3)其他型，TiO2-V2O5系，ZrO2-MgO系和Ca10(PO4)6(OH)2等。它们均具有耐高温、耐化学腐蚀、测量范围宽、灵敏度高、响应时间快等特点。因生产的制品类型不同，所选用的原料也有所不同。制造工艺多采用轧膜法和厚膜法等。主要用作湿度控制系统的湿度传感器，对工业生产过程和环境保护等进行监测。
CAS号：
性质： 具有湿敏效应的多孔陶瓷材料。湿敏，即对空气或其他气体、液体和固体物质中所含水分敏感。利用材料的电阻、电容、或磁通量随湿度变化来检测空气或其他物质中的水分含量。按所测环境温度之不同，分为高湿型(相对湿度大于75％)、低湿型(相对湿度小于45％)和全湿型(相对湿度0～100％)三种类型。按主晶相结构分为(1)尖晶石型，如MgCr2O3-TiO2系，MgFe2O4-ZnFe2O4系，ZnCr2O4-LiZnVO4系等。(2)钙钛矿型，如CaTiO3，CaSnO3，SrTiO3，BaSnO3等。实际应用的多掺入镧部分替代钙、锶、钡。(3)其他型，TiO2-V2O5系，ZrO2-MgO系和Ca10(PO4)6(OH)2等。它们均具有耐高温、耐化学腐蚀、测量范围宽、灵敏度高、响应时间快等特点。因生产的制品类型不同，所选用的原料也有所不同。制造工艺多采用轧膜法和厚膜法等。主要用作湿度控制系统的湿度传感器，对工业生产过程和环境保护等进行监测。
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参考词条