1) PCVD thin hard coating
PCVD硬质膜
1.
The present situation,existing problems and developmental trend of the PCVD thin hard coatings processing and coating properties evaluation are presented in this paper.
介绍了近年来 PCVD硬质膜工艺技术及薄膜性能评价方面的研究现状、存在问题及发展趋
2) hard coating
硬质薄膜
1.
A new method-stripping layer-substrate curvature was put forward to determine the residual stresses of hard coatings.
提出了一种测量硬质薄膜残余应力的新方法——剥层曲率半径法,并设计了一套光杠杆系统,可以精确测量镀膜样品因薄膜存在残余应力而造成试片弯曲的曲率半径,从而计算出薄膜的残余应力。
3) hard film
硬质膜
1.
The industrial progress of ion plating hard films on tools and dies on the Pearl River Delta;
珠三角地区离子镀工模具硬质膜产业的技术进步
2.
The principle is presented for designing duplex treatment of nitriding and vapor deposition of hard films.
阐述了渗氮 -气相沉积硬质膜复合处理的设计思想。
4) hard mask
硬质掩膜
1.
The results prove the feasibility of forming sheet silicon s hard mask by thermal oxidation technology.
通过实验对热氧化工艺中的两种不同方法，即干氧氧化和水汽氧化进行了比较研究，证明了利用这种工艺形成硅基片硬质掩膜的可行性。
5) MW PCVD diamond film
MW-PCVD金刚石薄膜
6) black hard film
黑色硬质膜
1.
Multi-layer Ti-N-C black hard films were deposited making use of cylindrical cathode arc ion plating and medium frequency twin target unbalanced magnetron sputtering.
采用柱弧离子镀和中频孪生靶非平衡磁控溅射镀膜技术制备了Ti-N-C多层复合黑色硬质膜。
补充资料：硬质膜
分子式：
CAS号：
性质：覆于工模具或机械零件表面提高其硬度和耐磨性的覆盖膜层。硬质膜的显微硬度比工模具基材高，一般在10～30GPa之间。在超硬膜材料中，具有金属键的TiN、TiCN等间隙化合物具有高的硬度和较好的韧性，因而其综合性能较好。离子键的A12O3除硬度高外，能够抗氧化，耐腐蚀，化学稳定性佳，适用于切削铁基材料。金刚石和立方氮化硼具有共价键，其硬度最高。以上这些单质超硬膜或它们的复合涂层沉积在工模具上可以提高它们的寿命。
CAS号：
性质：覆于工模具或机械零件表面提高其硬度和耐磨性的覆盖膜层。硬质膜的显微硬度比工模具基材高，一般在10～30GPa之间。在超硬膜材料中，具有金属键的TiN、TiCN等间隙化合物具有高的硬度和较好的韧性，因而其综合性能较好。离子键的A12O3除硬度高外，能够抗氧化，耐腐蚀，化学稳定性佳，适用于切削铁基材料。金刚石和立方氮化硼具有共价键，其硬度最高。以上这些单质超硬膜或它们的复合涂层沉积在工模具上可以提高它们的寿命。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条