1) soft X ray projection lithography
软X射线投影光刻
2) Soft X-ray projection lithography
软X-射线投影光刻
3) laser plasma source
软X射线投影光刻原理装置
4) soft X-ray lithography
软X射线光刻
1.
According to theoretical analysis,the PMMA compound X-ray lenses are designed and fabricated by soft X-ray lithography.
用LIGA技术中的软X射线光刻方法制作了PMMA材料X射线组合透镜。
5) Soft X-ray interference lithography
软X射线干涉光刻
1.
4nm soft X-ray interference lithography has been accomplished.
4 nm软X射线干涉光刻的透射型双光栅掩模版。
6) X-ray lithography
X射线光刻
1.
Synchrotron radiation X-ray lithography beamline design for 50nm resolution and below;
50nm及50nm以下同步辐射X射线光刻光束线设计
2.
Key technology of mask making for 50 nm X-ray lithography;
50 nm X射线光刻掩模制备关键技术
3.
Deep-submicron T-shaped gate fabrication technology using syn chrotron radiation x-ray lithography;
同步辐射x射线光刻制作深亚微米T形栅
补充资料：投影光刻
分子式：
CAS号：
性质：一种把图像投影在光敏材料上的方法。它可免于光学掩模版和光敏材料涂层的接触。
CAS号：
性质：一种把图像投影在光敏材料上的方法。它可免于光学掩模版和光敏材料涂层的接触。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条