1) SiN beam
氮化硅梁
1.
A new type pressure sensor based upon an electro thermally driven and piezo resistively sensed SiN beam resonator is developed using silicon micro machined technology.
报导一种新型的电热激励、压阻拾振的氮化硅梁谐振式压力传感器。
3) silicon nitride
氮化硅
1.
Preparation of silicon nitride powder by a direct nitridation process based on fluidization technology;
基于流态化技术硅粉直接氮化制备氮化硅粉
2.
High-temperature fatigue behavior in pre-cracked silicon nitride composites doped with ytterbium oxide;
Yb_2O_3掺杂氮化硅复合材料的高温动态疲劳行为
4) Si3N4
氮化硅
1.
Machining Characters of HSWEDM Assisting Electrode Method Machining Insulated Ceramics Si3N4;
绝缘陶瓷氮化硅高速走丝线切割加工技术研究
2.
Experimental Research on ELID Precision Grinding of the Si3N4;
氮化硅材料的ELID精密磨削试验研究
3.
Si3N4 bonded SiC product was prepared by firing at 1?380?℃ for 5?h under nitrogen atmosphere with SiC,FeSi and Si powder as principal raw materials.
以碳化硅(SiC)、硅铁(FeSi)粉、硅(Si)粉为主要原料,在氮气气氛下1 380℃保温5 h制得氮化硅结合碳化硅制品,研究了硅铁粉加入量对试样常温力学性能的影响。
5) SiON
[英]['saiən] [美]['saɪən]
氮氧化硅
1.
During SiON hard mask layer wet removing process after polysilicon etching,hot phosphoric acid(H3PO4) easily induces surface particle.
在集成电路制造工艺中,附着在Si片表面的杂质颗粒一直是影响晶圆良率的重大因素,其中在栅极多晶硅刻蚀后的氮氧化硅(SiON)掩膜层湿法去除工艺中,所使用的热磷酸(H3PO4)湿法刻蚀尤其容易产生杂质颗粒。
6) Si_3N_4
氮化硅
1.
Analytic equations of state and thermo-physical properties for the α,β,and γ-Si_3N_4;
氮化硅α,β和γ相的解析状态方程和热物理性质
2.
Precision Machining of Spiral Si_3N_4 Ceramic Plunger Couples Based on FEA;
基于FEA的螺旋式氮化硅陶瓷柱塞偶件精密加工技术研究
3.
The fluid-dynamic study and CFD simulation of bubbling fluidized bed for Si_3N_4 synthesis;
流态化合成氮化硅的鼓泡床冷模试验与CFD模拟
补充资料：氮化硅晶须补强氮化硅陶瓷复合材料
分子式：
CAS号：
性质：以氮化硅陶瓷为基体，以氮化硅晶须为增强体的复合材料。它具有高强度、高硬度、耐高温、抗蠕变、抗氧化、抗化学腐蚀、抗热冲击、耐磨等优良性能，是一种重要的高温结构陶瓷。使用温度可达1300℃，可用在陶瓷刀具、拔丝模、轴承、涡轮转子、耐热坩埚等方面。采用粉末冶金复合法制备。这一复合材料的界面难以控制，一般氮化硅晶须要通过涂层，才能保持在烧结过程中的稳定性。
CAS号：
性质：以氮化硅陶瓷为基体，以氮化硅晶须为增强体的复合材料。它具有高强度、高硬度、耐高温、抗蠕变、抗氧化、抗化学腐蚀、抗热冲击、耐磨等优良性能，是一种重要的高温结构陶瓷。使用温度可达1300℃，可用在陶瓷刀具、拔丝模、轴承、涡轮转子、耐热坩埚等方面。采用粉末冶金复合法制备。这一复合材料的界面难以控制，一般氮化硅晶须要通过涂层，才能保持在烧结过程中的稳定性。
说明：补充资料仅用于学习参考，请勿用于其它任何用途。
参考词条