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1)  mesoporous SiO_2 membrane
介孔SiO_2膜
1.
Preparation of mesoporous SiO_2 membrane by sol-gel method;
Sol-gel法介孔SiO_2膜的制备工艺研究
2)  mesoporous silica
介孔SiO_2
3)  mesoporous TiO_2-SiO_2
介孔TiO_2-SiO_2
4)  Bimodal mesoporous silica
双介孔SiO_2
5)  mesoporous SiO2
SiO_2介孔材料
6)  Nanoporous silica film
纳米多孔SiO_2薄膜
1.
The relationship between the porosity and the dielectric constant of nanoporous silica film were re-viewed.
纳米多孔SiO_2薄膜具有超低的介电常数,作为绝缘介质在超大规模集成电路互连系统有着巨大的应用潜力。
补充资料:介孔

根据国际纯粹与应用化学协会(iupac)的定义,孔径小于2纳米的称为微孔;孔径大于50纳米的称为大孔;孔径在2到50纳米之间的称为介孔。

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