1) MEMS microassembly
MEMS微装配
2) MEMS teeth
MEMS微齿
1.
The latest research progress and applications of inchworm actuator with MEMS teeth were presented comprehensively.
全面介绍了MEMS微齿型尺蠖驱动器在国外的最新研究进展及应用,该驱动器具有大输出力和高频大功率密度的特点,是高性能精密直线驱动器的一个重要发展方向。
3) MEMS micro-mirror
MEMS微镜
5) MEMS microfabrication
MEMS微制造
6) MEMS Microstructure
MEMS微构件
1.
Research on the Characteristics of the Excitation Device for Testing the Dynamic Characteristics of MEMS Microstructure;
MEMS微构件动态特性测试激励装置特性研究
补充资料：寄微之 时微之为虢州长史。
【诗文】：
高天默默物茫茫，各有来由致损伤。
鹦为能言长剪翅，龟缘难死久搘床。
莫嫌冷落抛闲地，犹胜炎蒸卧瘴乡。
外物竟关身底事，谩排门戟系腰章？
【注释】：
【出处】：
全唐诗
高天默默物茫茫，各有来由致损伤。
鹦为能言长剪翅，龟缘难死久搘床。
莫嫌冷落抛闲地，犹胜炎蒸卧瘴乡。
外物竟关身底事，谩排门戟系腰章？
【注释】：
【出处】：
全唐诗
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