1) PZT thick film
PZT厚膜
1.
PZT thick films are prepared through sol-gel method and sensor cell structure of Si/SiO_2/Ti/Pt/PZT/Ti/Pt is formed.
基于半导体光刻技术,通过干法刻蚀电极和化学湿法刻蚀PZT厚膜等技术,成功地实现了敏感元的微图形化,解决了Pt/Ti下电极刻蚀难、制作的PZT膜形貌不好和上电极容易起壳等问题,为基于PZT厚膜的高性能拾振器的研制打下了良好的基础。
2.
PZT thick films are homogeneous, crackfree, compa.
介绍了以硝酸锆、钛酸丁酯、乙酸铅为原料 ,去离子水、乙二醇乙醚为溶剂 ,采用新型Sol Gel技术 ,即将PZT陶瓷粉末分散于PZTSol中 ,形成均匀、稳定的厚膜材料先体溶液 ,再制备厚膜的方法 ,成功地制备出 2～ 5 0 μm厚的新型 0 3型PZT厚膜材料 。
3.
Furthermore, Driving technology of PZT thick film compatible with MEMS has been, and still is, thought as a promising technology in the micro-driving field.
论文对PZT压电厚膜制备工艺;硅基PZT厚膜元件压电驱动特性的测试技术;硅基PZT厚膜压电驱动结构的优化设计;以及PZT压电厚膜驱动无阀微泵的兼容工艺做了深入地理论与实验研究。
2) PNN-PZT thick film
PNN-PZT厚膜
1.
When the deposited voltage and time are 21V and 5min,respectively,the PNN-PZT thick films deposited on the Pt foil are uniform and free of crack.
沉积电压为21V,沉积时间为5min时,在Pt金属基底上电泳沉积得到的PNN-PZT厚膜,经过1200℃烧结30min后,SEM显微结构分析表明,厚膜致密,晶粒得到充分生长。
4) PZT film
PZT膜
1.
And the characteristic of PZT film-high sensitive and high output strain make it a most promising material of drive.
PZT膜因其优良的铁电性能、介电性能、压电性能和光电性能以及易与半导体技术集成等特点,已成为国际上功能材料和新器件的热点之一。
5) PZT thin films
PZT薄膜
1.
A wet-chemical eroding process of PZT thin films is reported.
文中所采用的PZT薄膜是通过溶胶!凝胶(sol-gel)法获得的,在研究腐蚀溶液组分、温度以及浓度对腐蚀速率影响的基础上,成功获得了PZT薄膜微图形化的湿法腐蚀工艺。
2.
The PZT thin films on the Pt/Ti/SiO2/Si substrate is prodused by a modified sol-gel method.
采用改进的溶胶-凝胶(sol-gel)法在Pt/Ti/SiO2/Si基片上制备PZT薄膜,研究不同的晶化处理方式对PZT薄膜的微观结构、表面形貌及电学性能的影响。
3.
The PZT thin films was used to fabricate V type valve microactuator by its piezoelectric response.
采用溶胶-凝胶法(Sol-gel)制备了PZT压电薄膜,利用PZT的压电效应制作以PZT薄膜为驱动的V型阀微驱动器。
6) PZT thin film
PZT薄膜
1.
After rapid thermal annealing (RTA) and conventional furnace annealing (CFA) at different temperatures, the amorphous films were transformed into polycrystalline PZT thin films with (100) and (111) orientation, respectively.
射频磁控溅射法室温下在Pt Ti SiO2 Si上制备非晶Pb(Zr0 4 8Ti0 52 )O3薄膜 ,非晶PZT薄膜分别经常规炉退火(CFA)处理和快速热退火 (RTA)处理晶化为 (10 0 ) ,(111)不同择优取向的多晶薄膜 。
2.
Micro-patterning of PZT thin film is one of the key technologies in the fabrication of micro-sensors and micro-actuators made of PZT films.
PZT薄膜的微图形化是制备基于PZT薄膜微传感器和微驱动器的关键技术之一。
3.
The fabrications of PZT thin films are discussed.
综述了PZT薄膜的制备方法 ,从电极、微观结构和化学成分、生长方向、多层膜结构以及机械应力对性能的影响五个方面介绍了PZT薄膜的研究进展 。
补充资料：厚礁膜
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| 俗名: | 厚礁膜 |
| 产地及产期: 生长在中潮带岩石上。生长盛期4～6月。产于嵊山。可供食用。 | |
| 介绍: 藻体黄绿色，有光泽，片状，膜质，单层细胞，高3～6厘米。从藻体边缘深裂至基部的裂片数个，裂片边缘多皱褶，并有短小的片状突起。藻体边缘厚36微米左右，近基部厚85～90微米。 |
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