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1)  Silicon micro-microphone
硅微传声器
2)  silicon condenser microphone
硅微电容传声器
1.
Stiction during the releasing sacrifice layers of silicon condenser microphone is a serious problem in micro-electromechanical systems (MEMS).
粘连是硅微电容传声器释放牺牲层过程中不容忽视的一个严重问题,大大降低了器件的成品率。
2.
A great breakthrough had been made recently in silicon condenser microphone domain.
硅微电容传声器最近取得了突破性进展。
3)  Si-based miniature microplne
硅基微型传声器
4)  miniature silicon sensor
硅微型声传感器
5)  MEMS microphone
硅传声器
6)  vector hydrophone
硅微矢量水声传感器
1.
The encapsulation and testing of a vector hydrophone based on silicon;
硅微矢量水声传感器的封装及测试方法研究
补充资料:"球粒"硅微粉

“球粒”硅微粉在国内罕见。矿产资源研究所掌握全国范围内的矿产资源和先进的矿产品加工技术,选用高品质石英原矿,经独特工艺加工而成的一种高强度、高硬度、惰性的球型颗粒,其主要成-分sio2含量99.6%以上,密度为2.65,莫氏硬度为7,细度在325目至5000目之间,白度在70-94之间, 具有合理可控的粒度范围,外观为白色粉末状。

经电镜分析,硅微粉颗粒形态为近等轴状六角多面体形,被称为“球形”颗粒。

硅微粉主要由微晶质石英组成,sio2含量大于99.50%, 硅微粉中有害元素含量极低,均低于检出极限。

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