1) ion pump power
离子泵电源
1.
The features of the BEPCII linac vacuum system are described,with the remote monitoring system used in the process of ion pump power starting to normal operation and overflow protection based on PLC.
同时介绍了基于PLC可编程控制器应用于离子泵电源的启动和过流保护的远控系统。
3) electrogenic ion pump
电致离子泵
4) electrogenic ion pump
生电离子泵
5) electron ionization ion source
电子电离源
补充资料:溅射离子泵(scatteringionpump)
溅射离子泵(scatteringionpump)
溅射离子泵的结构如图。阳极为一薄壁不锈钢筒,阴极为两块薄钛板,分置阳极两方。阳极、阴极一同装于不锈钢外壳中,整个壳体装于一磁场中,磁力线方向平行于阳极筒轴向,磁通密度约1000~2000Gs,工作时极间电压为3~7kV产生潘宁放电,这是一种在很低压强下仍能自持的放电,所以能运用于高真空和超高真空。放电产生的离子轰击阴极时引起金属钛的溅射,溅射的钛沉积于阳极筒内壁及阴极上离子轰击较少的部位。不断地形成新鲜的活性钛膜,吸附气体分子。同时又连续地掩埋吸附于阳极筒内壁及阴极边角部位的气体分子(对惰性气体也有效),形成泵的抽气作用。真空度可达10-11Torr量级。
说明:补充资料仅用于学习参考,请勿用于其它任何用途。
参考词条