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1)  wet clean
湿法清洗
1.
Some certain researches and theoretical analysis on it were carried out,and wet clean method was proposed for removing the pad crystal defect.
国际上已经对这一缺陷的形成有了一定的理论分析,也提出了可以通过湿法清洗来去除此缺陷。
2.
7% of the surface particles and polymer residue can be effectively removed through a novel wet cleaning process by 15 min HF and 10 min sulfuric-peroxide mixture(SPM)with 300 W megasonic.
在硅化钨刻蚀前利用电子束扫描发现,15min的氢氟酸和10min浓硫酸与过氧化氢混合溶液(SPM)在300W超声波条件下的新湿法清洗工艺,能去除84。
2)  wet cleaning
湿法清洗
3)  wet purifier
湿式滤清器湿法清洗器
4)  liquid abrasion cleaning
喷湿砂清洗
5)  wet-cleaning machine
湿式清洗机
6)  wet scrubbing
湿法洗涤
补充资料:不停车物理清洗法
分子式:
CAS号:

性质:又称不停车物理清洗法。在系统处于运行条件下,使用清洗机械进行设备的清洗作业。

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